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[實用新型]一種新型可變焦數字全息顯微鏡有效

專利信息
申請號: 201820720527.5 申請日: 2018-05-15
公開(公告)號: CN208297941U 公開(公告)日: 2018-12-28
發明(設計)人: 張旭輝;許之敏 申請(專利權)人: 許之敏
主分類號: G03H1/00 分類號: G03H1/00;G03H1/04
代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616 代理人: 劉曉暉
地址: 518000 廣東省深圳市南山*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 透射 參考光束 分光棱鏡 非偏振 物光束 數字全息顯微鏡 透鏡 偏振分光棱鏡 四分之一波片 本實用新型 平面鏡反射 表面干涉 全息圖像 移動物鏡 可變焦 物鏡 相機 三維實時形貌測量 成像技術領域 二分之一波片 反射鏡反射 方式獲取 數字全息 線偏振光 樣品表面 反射光 平面波 前透鏡 出射 可用 反射 光源 平行
【權利要求書】:

1.一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:反射式數字全息顯微鏡的光源發出的線偏振光經二分之一波片和偏振分光棱鏡后分為兩束偏振態垂直的光波,其中一束透射光束作為物光束,另一束經偏振分光棱鏡反射為參考光束;物光束經過反射鏡反射后依次經過非偏振分光棱鏡、透鏡和物鏡后平行出射于樣品表面,樣品的反射光經過物鏡和透鏡后仍為平面波,經非偏振分光棱鏡反射后與參考光束在相機表面干涉;參考光束依次經四分之一波片透射、第一平面鏡反射、四分之一波片再次透射、偏振分光棱鏡透射、第二平面鏡反射和非偏振分光棱鏡透射后與物光束在相機表面干涉成全息圖像。

2.按照權利要求1所述一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:所述四分之一波片的光軸與光路平面呈45度。

3.按照權利要求1所述一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:所述光源包括發光源,發光源為半導體激光器、氣體激光器、LED、Super LED,發光源發出的光經過針孔內的第一聚焦透鏡和第二聚焦透鏡。

4.按照權利要求1所述一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:所述光源由激光器發出光通過光纖耦合輸出后經第三聚焦透鏡準直至合適光斑大小后輸出。

5.按照權利要求1所述一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:所述光源為線偏振光源。

6.按照權利要求1所述一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:選用擴束鏡將棱鏡的入射光斑和出射光斑進行擴束。

7.一種新型可變焦數字全息顯微鏡,其特征在于:透射式數字全息顯微鏡的光源發出的線偏振光經二分之一波片和偏振分光棱鏡后分為兩束偏振態垂直的光波,其中一束透射光束作為物光束,另一束經偏振分光棱鏡反射為參考光束;物光束經過反射鏡反射后照射于樣品表面,由物鏡收集后,依次經過透鏡準直、非偏振分光棱鏡反射后入射相機;另一束參考光束穿過四分之一波片經第一平面鏡反射后,再次透過四分之一波片和偏振分光棱鏡,依次經過第二平面鏡反射、非偏振分光棱鏡透射后入射相機,與物光束干涉后產生含有樣品表面信息的干涉條紋。

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