[實用新型]一種濕式制程設備液流物理洗凈裝置

有效

• 申請號: 201820719175.1
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN208427504U
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 陳瀅如;簡健哲
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種濕式制程設備液流物理洗凈裝置，橫向安裝在濕式制程設備中，其特征是，包括本體(1)，所述本體(1)包括特氟龍管(2)，所述特氟龍管(2)為一端封口，另一端設有連接孔的圓柱形腔體，其連接孔端與濕式制程機臺的藥液進液管(3)聯通，且端部與濕式制程機臺的傳動裝置軸套連接，特氟龍管(2)的圓柱外壁設有均勻排列的通孔(4)，特氟龍管(2)外壁設有包覆的刷毛(5)。

2.根據權利要求1所述的一種濕式制程設備液流物理洗凈裝置，其特征是，所述濕式制程設備包括傳動輥(6)和噴淋管(7)，所述傳動輥(6)為圓柱形，其上承載有基板(8)，噴淋管(7)位于載具上方，特氟龍管(2)位于基板(8)與噴淋管(7)之間，且特氟龍管(2)的刷毛(5)與基板(8)上表面緊貼。

3.根據權利要求1所述的一種濕式制程設備液流物理洗凈裝置，其特征是，所述特氟龍管(2)上通孔(4)呈螺旋狀均勻排列。

4.根據權利要求1所述的一種濕式制程設備液流物理洗凈裝置，其特征是，所述刷毛(5)外表面整體為海綿體型的波點。