[實用新型]物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構

有效

• 申請號: 201820700285.3
• 申請日: 2018-05-11
• 公開（公告）號: CN208234983U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 李承峯;何木春;黃裕鴻;邱新智;鄭耀璇;陳英信
• 申請（專利權）人: 天虹科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 何為;李宇

1.一種物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構，包括一固設于一反應室內部的基座，其特征在于，所述基座的底面上固設一固定齒輪；一中心軸可轉動地穿過該基座與該固定齒輪，該中心軸上端鏈接一驅動器，下端凸伸出該固定齒輪的下方；一旋臂固設在該中心軸的下端并被該中心軸驅動旋轉；一旋轉齒輪結合于該旋臂的一端，且與該固定齒輪相嚙合，該旋轉齒輪的中央具有一輪軸凸伸至該旋臂的下方；一磁盤包含固設于該輪軸下端且平行間隔設置的多數盤體及固設于該多數盤體間且以相反磁極呈雙螺旋線狀排列的多數磁鐵；以及一平衡塊固設于該旋臂的另一端，且使該固定齒輪位于該平衡塊與該旋轉齒輪之間。

2.根據權利要求1所述的物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構，其特征在于，該基座的中央具有貫穿的一穿孔，該固定齒輪的中央具有貫穿的一軸孔，該中心軸可轉動地穿過該穿孔與該軸孔。

3.根據權利要求1所述的物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構，其特征在于，該旋臂呈長條狀，一端具有一容槽供容納該固定齒輪與該旋轉齒輪，且以一密封蓋將該容槽的開口蓋住。

4.根據權利要求1所述的物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構，其特征在于，該多數磁鐵為呈圓柱形的永久磁鐵。

5.根據權利要求1所述的物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構，其特征在于，該固定齒輪以多數固定螺栓將其固設于該基座的底面上。

6.根據權利要求1所述的物理氣相沉積反應室的磁鐵旋轉機構，其特征在于，該旋臂利用多數結合螺栓固設在該中心軸的下端。