[實用新型]一種設備之間配合誤差的輔助標記裝置

有效

• 申請號: 201820676040.1
• 申請日: 2018-05-07
• 公開（公告）號: CN208384143U
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 賀云波;葉文濤;陳新;高健;楊志軍;陳桪;張凱;陳云;湯暉;張昌;何作雄
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: G01V8/14
• 分類號: G01V8/14;G01V8/18;G01S17/08;B25J11/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本實用新型公開了一種設備之間配合誤差的輔助標記裝置，包括支撐連桿、標記連桿、激光測距傳感器以及計算機。其中，支撐連桿和標記連桿設置于工作臺且水平方向上相互垂直，激光測距傳感器安裝在機械手上，在測量過程中，標記連桿處于激光測距傳感器的掃描范圍內，計算機與激光測距傳感器連接，用于接收激光測距傳感器返回的測試數據以確定機械手與工作臺之間的配合誤差。可見，本裝置結構簡單，能夠標記機械手與工作臺之間的配合誤差，可廣泛應用。另外，由于采用了激光測距傳感器，相對于其它測距傳感器來說，其具有固定的掃描范圍的特性，如果被掃描物體與激光傳感器的距離過大或者過小，激光測距傳感器不能掃描到物體，從而提高了測量的精度。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別是涉及一種設備之間配合誤差的輔助標記裝置。

背景技術

在半導體制造領域中，需要有專業的設備來對晶圓進行搬運和加工。其工藝流程一般為：應用工業機器人的機械手將晶圓從載物料盒中搬運出來(應用真空負壓吸附的原理)，隨后運輸至晶圓加工設備上的晶圓工作臺進后續加工。

由于工業機器人一般為平面機器人，在XY平面中存在一個移動副，其余為轉動副，所以機械手在運輸晶圓給晶圓加工設備的過程中是垂直于工作臺中心進出的，這樣才能將晶圓運輸至工作臺上且保證誤差最小。在具體實施中，需要工業機器人和晶圓加工設備之間的配合誤差在一定范圍內，否則工業機器人無法將晶圓放在準確位置上，導致晶圓在加工過程中出現失誤。此外，在搬運過程中，由于工業機器人和晶圓加工設備工作坐標系不同，因此無法保證配合時，兩者相對位置的精度。如果精度太低，誤差過大，搬運機器人在垂直進入時，工作臺的周邊有其余的裝置或者其它障礙物，會導致晶圓與其碰撞，從而破碎(半加工的晶圓盤的價格從幾百到數萬)，直接造成巨大的經濟損失。

由此可見，如何校正工業機器人和晶圓加工設備之間的配合誤差是本領域技術人員亟待解決地問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種設備之間配合誤差的輔助標記裝置，用于校正工業機器人和晶圓加工設備之間的配合誤差。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種設備之間配合誤差的輔助標記裝置，包括設置于工作臺且水平方向上相互垂直的支撐連桿和標記連桿，激光測距傳感器，與所述激光測距傳感器連接的計算機，用于接收所述激光測距傳感器返回的測試數據以確定所述機械手與所述工作臺之間的配合誤差，其中，在測量過程中，所述激光測距傳感器設置于機械手處，所述標記連桿與所述工作臺的中心對齊，所述標記連桿的末端處于所述激光測距傳感器的掃描范圍內。

優選地，還包括設置于所述支撐連桿和所述標記連桿的連接處的連接支架。

優選地，所述連接支架具體為可滑動支架，所述支撐連桿上具體設置有滑軌，用于所述標記連桿沿所述支撐連桿滑動。

優選地，還包括設置于所述支撐連桿上的固定支架，用于將所述支撐連桿固定于所述工作臺上。

優選地，所述固定支架具體設置于所述支撐連桿的末端。

優選地，所述固定支架具體為固定連接于所述支撐連桿上的固定片，所述固定片上設置有螺紋孔以通過螺栓與所述工作臺上的螺紋孔連接。

優選地，所述支撐連桿上設置有刻痕標記。

優選地，還包括用于所述計算機和所述激光測距傳感器通信連接的無線通信模塊。

優選地，所述標記連桿為空心且壁厚均相同。

優選地，還包括與所述計算機連接的指示燈，用于在所述計算機確定出所述配合誤差在誤差允許范圍內時點亮。