[實用新型]一種電容式傳感器

有效

• 申請號: 201820569362.6
• 申請日: 2018-04-20
• 公開（公告）號: CN208239334U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 周蕤;吳康;李君;尼克·德·羅伊;周國富
• 申請（專利權）人: 華南師范大學;深圳市國華光電科技有限公司;深圳市國華光電研究院
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 唐致明;洪銘福

本實用新型公開了一種電容式傳感器，包括下基板、加熱電極、上基板和至少一個正負電極對，加熱電極設置在下基板的上方，上基板設置在加熱電極的上方，正負電極對設置在上基板的上方，正負電極對覆有功能性材料層。設置加熱電極可以提高電容式傳感器的感應性能，實現連續感知。

技術領域

本實用新型涉及傳感器領域，尤其是一種電容式傳感器。

背景技術

傳感器是國家現代化的一種體現，在國民經濟中占有越來越重要的地位。隨著時代的發展，傳感器的應用領域也越來越廣泛，諸如智能電視，智能手機、智能手表等可穿戴電子設備對可集成式的多功能傳感器提出了更高的需求。

電容式傳感器就是以電容器作為基礎傳感元件，將電容的變化轉化為我們所需要的物理量。例如，溫度傳感器可以實時對溫度進行監控，濕度傳感器可以感應到濕度的變化，有些危害性的氣體用傳感器實時監控就可以起到預警的作用，在企業及民生方面有著巨大的潛力。除了傳統的感性外，選擇性和穩定性，這些應用的要求其他功能如低消耗，低成本，高效率或便攜性等。目前，很多傳感器材料的感應性能很好，但是卻沒法連續的感知，材料在感應高濃度的氣體后，再也無法感知低濃度的氣體，影響傳感器的感應性能。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種電容式傳感器，用于提高電容式傳感器的感應性能，實現連續感知。

本實用新型所采用的技術方案是：一種電容式傳感器，包括下基板、加熱電極、上基板和至少一個正負電極對，所述加熱電極設置在下基板的上方，所述上基板設置在加熱電極的上方，所述正負電極對設置在上基板的上方，所述正負電極對覆有功能性材料層。

進一步地，所述電容式傳感器包括至少兩個正負電極對，至少一個正負電極對覆有功能性材料層，至少一個正負電極對未覆有功能性材料層。

進一步地，所述加熱電極上設置有金屬保護層，所述上基板設置在金屬保護層的上方。

進一步地，所述功能性材料層還覆有保護絕緣層。

進一步地，所述正負電極對為指狀交叉電極對。

進一步地，所述功能性材料層為對濕度敏感的功能性材料層和/或對氨氣敏感的功能性材料層和/或對二氧化氮敏感的功能性材料層。

進一步地，所述下基板和/或下基板為柔性基板。

進一步地，所述功能性材料層的厚度為300nm。

進一步地，所述加熱電極為環形電極。

進一步地，所述加熱電極的厚度為10μm。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型一種電容式傳感器，包括下基板、加熱電極、上基板和至少一個正負電極對，加熱電極設置在下基板的上方，上基板設置在加熱電極的上方，正負電極對設置在上基板的上方，正負電極對覆有功能性材料層。設置加熱電極可以提高電容式傳感器的感應性能，實現連續感知。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步說明：

圖1是本實用新型一種電容式傳感器的一具體實施例示意圖；

圖2是圖1在J-J方向上的剖視圖；

圖3是圖1在K-K方向上的剖視圖；

圖4是本實用新型一種電容式傳感器的一具體實施例立體示意圖；

圖5是本實用新型一種電容式傳感器的正負電極對的一具體實施例示意圖；

圖6是本實用新型一種電容式傳感器的加熱電極的一具體實施例示意圖；