[實用新型]一種電容式傳感器

有效

• 申請號: 201820569362.6
• 申請日: 2018-04-20
• 公開（公告）號: CN208239334U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 周蕤;吳康;李君;尼克·德·羅伊;周國富
• 申請（專利權）人: 華南師范大學;深圳市國華光電科技有限公司;深圳市國華光電研究院
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 唐致明;洪銘福

1.一種電容式傳感器，其特征在于，包括下基板、加熱電極、上基板和至少一個正負電極對，所述加熱電極設置在下基板的上方，所述上基板設置在加熱電極的上方，所述正負電極對設置在上基板的上方，所述正負電極對覆有功能性材料層。

2.根據權利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于，所述電容式傳感器包括至少兩個正負電極對，至少一個正負電極對覆有功能性材料層，至少一個正負電極對未覆有功能性材料層。

3.根據權利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于，所述加熱電極上設置有金屬保護層，所述上基板設置在金屬保護層的上方。

4.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述功能性材料層還覆有保護絕緣層。

5.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述正負電極對為指狀交叉電極對。

6.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述功能性材料層為對濕度敏感的功能性材料層和/或對氨氣敏感的功能性材料層和/或對二氧化氮敏感的功能性材料層。

7.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述下基板和/或下基板為柔性基板。

8.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述功能性材料層的厚度為300nm。

9.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述加熱電極為環形電極。

10.根據權利要求1至3任一項所述的電容式傳感器，其特征在于，所述加熱電極的厚度為10μm。