[實用新型]一種半導體硅環(huán)蝕刻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820515212.7
• 申請日: 2018-04-12
• 公開（公告）號: CN207993824U
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發(fā)明（設計）人: 張現(xiàn)軍;游娜;覃慶良;王明甲;秦浩華
• 申請（專利權）人: 青島科技大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 西安匯恩知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 61244
• 代理人: 邢立立

1.一種半導體硅環(huán)蝕刻裝置，其特征在于：包括筒體、電機、一個以上的半導體硅環(huán)和壓緊裝置，所述筒體的底面上設有一通孔，電機固定安裝于筒體的底面上，電機的轉(zhuǎn)軸穿過通孔延伸至筒體內(nèi)部，轉(zhuǎn)軸的頂部設有一螺絲孔，筒體內(nèi)部垂直設有一螺桿，螺桿下端插入所述的螺絲孔中，并與螺絲孔螺紋連接，螺桿上套有一個以上的套管，套管均與螺桿螺紋連接，套管兩側(cè)均固定安裝一橫桿，橫桿的頂面和底面上均固定安裝一防腐蝕海綿層，一個以上的半導體硅環(huán)分別套設于上下兩個套管之間，半導體硅環(huán)的上下端面與橫桿頂部和底部上的防腐蝕海綿層相抵。

2.根據(jù)權利要求1所述的半導體硅環(huán)蝕刻裝置，其特征在于：壓緊裝置由兩根直桿、一根以上的支桿、一個以上的壓緊塊、一個以上的彈簧和一個以上的伸縮桿組成，兩根直桿一左一右設置于筒體內(nèi)部，一根以上的支桿分別固定安裝直桿的相對面上，支桿均與半導體硅環(huán)相對設置，壓緊塊均固定安裝于支桿的相對面上，壓緊塊的一端均與半導體硅環(huán)的外圈面相抵，一個以上的伸縮桿分別安裝于直桿的外側(cè)面上，伸縮桿另一端均與筒體的內(nèi)壁固定連接，彈簧均套設于伸縮桿上，彈簧一端均與直桿固定連接，另一端均與筒體的內(nèi)壁固定連接，直桿一端均順著筒體的開口延伸至外界，并均固定安裝一握把。

3.根據(jù)權利要求1所述的半導體硅環(huán)蝕刻裝置，其特征在于：螺桿一端順著筒體的開口延伸至外界，并固定安裝一手把。

4.根據(jù)權利要求1所述的半導體硅環(huán)蝕刻裝置，其特征在于：筒體的底面上固定安裝四根支撐桿，四根支撐桿呈矩形結構分布，四根支撐桿下端固定安裝一底板。