[實用新型]一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置

有效

• 申請號: 201820462314.7
• 申請日: 2018-04-03
• 公開（公告）號: CN208104527U
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 樊啟文;王華;胡躍明;張榕;孟波
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/06;C23C14/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置，該制備裝置主要包括真空室及位于真空室內的膜厚監測器、靶框支架、同位素靶源、碳弧源、旋轉驅動裝置；該制備裝置還包括傳動裝置和集成電源，該傳動裝置包括傳動齒輪和傳動手柄，其中傳動齒輪位于真空室內；該集成電源包括第一電源和第二電源，該集成電源位于真空室外；

所述靶框支架設置于真空室內的上部位置，為圓盤形結構，該支架四周設置有一個或多個與靶框數量、大小和形狀對應的靶位，靶框放置于該靶位處；靶框支架與旋轉驅動裝置連接，該旋轉驅動裝置帶動靶框旋轉；

所述同位素靶源位于蒸發舟內，該蒸發舟位于其中一個靶位正下方2.5～3cm處，且與兩個金屬電極固定連接；該兩個金屬電極與第一電源連接；該碳夾心同位素靶制備過程中，旋轉裝置帶動靶框支架旋轉，使同位素靶源均勻地蒸鍍在靶框上；

所述碳弧源位于真空室內部下方；該碳弧源包括兩根碳棒，該兩根碳棒與第二電源連接，其中一根碳棒位置固定，另一根碳棒與傳動裝置連接；在傳動裝置的帶動下兩根碳棒的距離可調。

2.根據權利要求1所述的一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置，其特征在于，所述膜厚監測器為石英晶體膜厚監測器。

3.根據權利要求1所述的一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置，其特征在于，所述真空室為鐘罩型結構。

4.根據權利要求1所述的一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置，其特征在于，所述兩個金屬電極的材質為銅電極。

5.根據權利要求1所述的一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置，其特征在于，所述靶框可為正方形、長方形、弧形或異型框。

6.根據權利要求1所述的一種大面積碳夾心同位素靶的制備裝置，其特征在于，所述同位素靶源為²⁰⁸Pb或²⁰⁹Bi源。