[發(fā)明專利]基板端面研磨裝置及研磨判定方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910149143.8
• 申請日: 2009-06-17
• 公開（公告）號: CN101607376A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 辰田勝彥;山岸宗司;豬飼修;松岡豊;伊勢廣教
• 申請（專利權(quán)）人: 中村留精密工業(yè)株式會社;AvanStrate株式會社
• 主分類號: B24B7/16
• 分類號: B24B7/16;B24B7/24;B24B49/10
• 代理公司: 北京戈程知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 程 偉

1.一種基板端面研磨裝置，其特征在于包括：對玻璃基板端面進 行研磨加工的研磨輪、所述研磨輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件、以及所述研磨輪 的切入送出組件；

所述研磨輪為周緣部由具有彈性的材料構(gòu)成，并且所述材料中含 有研磨磨粒；

所述研磨輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件具有：利用玻璃基板的研磨加工的負 載電流檢測組件、以及通過在所述研磨輪產(chǎn)生的磨損槽的槽側(cè)面接觸 于玻璃基板而產(chǎn)生的負載電流的修正組件，

所述負載電流檢測組件，檢測利用所述玻璃基板的端面接觸的負 載電流，和所述研磨輪上產(chǎn)生的由于磨損槽的槽側(cè)面接觸玻璃基板而 產(chǎn)生的負載電流，

所述磨損槽形成于所述研磨輪的情況下，通過所述磨損槽的槽側(cè) 面與玻璃基板的表面和背面接觸而產(chǎn)生負載電流增加，所述修正組件 將該負載電流增加對應(yīng)于所述磨損槽的形成而加入所述負載電流從而 修正，其中，磨損槽越深，越進行調(diào)高負載電流上限的控制；

所述送出組件，基于所述被修正的負載電流調(diào)整所述研磨輪的切 入送出量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板端面研磨裝置，其特征在于具有比 較組件，所述比較組件基于通過所述負載電流檢測組件檢測到的負載 電流與適當(dāng)上下限電流進行比較，所述研磨輪的切入送出組件具有基 于與所述適當(dāng)上下限電流的比較結(jié)果來調(diào)整送出量的送出調(diào)整組件。

3.一種基板端面研磨加工的判定方法，其特征在于包括：對玻璃 基板端面進行研磨加工的研磨輪、所述研磨輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件、以及 所述研磨輪的切入送出組件；

所述研磨輪為周緣部由具有彈性的材料構(gòu)成，并且所述材料中含 有研磨磨粒；

所述研磨輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件具有利用玻璃基板端面接觸的負載電 流檢測組件；

伴隨研磨加工數(shù)，在所述研磨輪形成磨損槽，對通過所述磨損槽 的槽側(cè)面與玻璃基板的表面和背面的槽形面接觸而產(chǎn)生的負載電流的 增加部分進行修正，其中，磨損槽越深，越進行調(diào)高負載電流上限的 控制，并設(shè)定適當(dāng)負載電流的上限和下限，從而當(dāng)通過所述負載電流 檢測組件檢測到的研磨加工時的負載電流在所述上下限內(nèi)時，判定玻 璃基板為合格品。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板端面研磨加工的判定方法，其特征 在于，所述研磨輪通過周緣部填充纖維中含有研磨磨粒的樹脂來制造。