[實(shí)用新型]材料吸氣放氣率測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820453828.6
• 申請(qǐng)日: 2018-04-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208092000U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金炯;楊林;姜瓊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 杭州賽威斯真空技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N33/00
• 分類(lèi)號(hào): G01N33/00
• 代理公司: 杭州天欣專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 33209
• 代理人: 陳紅

本申請(qǐng)公開(kāi)了.一種材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，包括設(shè)置在工作面上的吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)、進(jìn)出樣室和進(jìn)出樣分子泵，進(jìn)出樣室連接進(jìn)出樣分子泵，其特征在于：吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)交叉設(shè)置，交叉點(diǎn)為進(jìn)出樣室，吸氣性能測(cè)試系統(tǒng)包括吸氣送樣桿、吸氣性能測(cè)試室、第一流導(dǎo)管選擇閥和進(jìn)氣管微漏閥，進(jìn)出樣室一端連接吸氣送樣桿，進(jìn)出樣室的另一端連接吸氣性能測(cè)試室，放氣測(cè)試系統(tǒng)包括放氣送樣桿、放氣性能測(cè)試室和第二流導(dǎo)管選擇閥，進(jìn)出樣室的一端連接放氣送樣桿，進(jìn)出樣室的另一端連接放氣性能測(cè)試室，本申請(qǐng)具有以下特點(diǎn):精確度高，測(cè)量方便，集成度高。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及一種測(cè)試裝置,尤其是一種能測(cè)試材料的殘余氣壓和吸氣性能的測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)，也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

因此MEMS芯片性能有一定的要求，MEMS芯片是一種抽真空的元件，在使用的過(guò)程中，密封材料會(huì)有放氣和滲氣的現(xiàn)象，會(huì)導(dǎo)致內(nèi)部的氣壓上漲，而導(dǎo)致芯片的性能下降，MEMS芯片作為消費(fèi)級(jí)的元件，需要保證芯片的性能在3至5年，所以需要測(cè)試3至5年內(nèi)芯片的真空度，而MEMS的內(nèi)部無(wú)壓力傳感器，無(wú)法測(cè)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，而提供一種精確度高，測(cè)量方便的材料吸氣放氣率測(cè)試裝置。

本申請(qǐng)解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案包括：一種材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，包括設(shè)置在工作面上的吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)、進(jìn)出樣室和進(jìn)出樣分子泵，所述的進(jìn)出樣室連接所述的進(jìn)出樣分子泵，其特征在于：所述的吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)交叉設(shè)置，交叉點(diǎn)為進(jìn)出樣室，所述的吸氣性能測(cè)試系統(tǒng)包括吸氣送樣桿、吸氣性能測(cè)試室、第一流導(dǎo)管選擇閥和進(jìn)氣管微漏閥，所述的進(jìn)出樣室一端連接吸氣送樣桿，所述的進(jìn)出樣室的另一端連接吸氣性能測(cè)試室，所述的放氣測(cè)試系統(tǒng)包括放氣送樣桿、放氣性能測(cè)試室和第二流導(dǎo)管選擇閥，進(jìn)出樣室的一端連接放氣送樣桿，進(jìn)出樣室的另一端連接放氣性能測(cè)試室，還設(shè)置有第一管道、第二管道和第三管道，所述的第一管道和第二管道分別連接吸氣性能測(cè)試室，所述的第三管道連接放氣性能測(cè)試室，在第一管道和第三管道之間設(shè)置有第二流導(dǎo)管選擇閥，在第二管道和第一管道之間設(shè)置有第一流導(dǎo)管選擇閥，在第一管道上設(shè)置有兩個(gè)進(jìn)氣管微漏閥，其優(yōu)點(diǎn)和效果是：將吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)集合在一起，節(jié)約成本。

優(yōu)選的，所述的吸氣性能測(cè)試室內(nèi)設(shè)置有石墨加熱片、熱電偶、第一熱陰極電離規(guī)和磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)，石墨加熱片，由熱電偶隨時(shí)測(cè)量吸氣性能測(cè)試室內(nèi)的溫度，所述的第一熱陰極電離規(guī)用于測(cè)試實(shí)驗(yàn)中的實(shí)時(shí)真空度，所述的磁懸浮轉(zhuǎn)子管用于校準(zhǔn)第一熱陰極電離規(guī)，其優(yōu)點(diǎn)和效果是：準(zhǔn)確地測(cè)試材料的吸氣性能。

優(yōu)選的，所述的放氣性能測(cè)試室內(nèi)設(shè)置有第二熱陰極電離規(guī)、薄膜真空規(guī)和芯片破壞裝置，所述的第二熱陰極電離規(guī)測(cè)試破壞前所述的放氣性能測(cè)試室的真空度，所述的薄膜真空規(guī)測(cè)試破壞后的所述的放氣性能測(cè)試室的真空度，其優(yōu)點(diǎn)和效果是：準(zhǔn)確地測(cè)量殘余氣體的氣壓。

優(yōu)選的，還設(shè)置有殘余氣體分析儀，所述的殘余氣體分析儀連接放氣性能測(cè)試室，其優(yōu)點(diǎn)和效果是：可以分辨殘余氣體的成分。

優(yōu)選的，在所述的進(jìn)出樣室和吸氣送樣桿之間設(shè)置有第三閥門(mén)，在所述的進(jìn)出樣室和放氣送樣桿之間設(shè)置有第四閥門(mén)，其優(yōu)點(diǎn)和效果是：使吸氣送樣桿和放氣送樣桿處于真空環(huán)境，提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。

優(yōu)選的，所述的第一流導(dǎo)管選擇閥設(shè)置有六個(gè)，第二流導(dǎo)管選擇閥設(shè)置有三個(gè)，其優(yōu)點(diǎn)和效果是：可供不同材料選擇，以提高測(cè)試精確度。