[實(shí)用新型]微流控芯片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820428699.5
• 申請(qǐng)日: 2018-03-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208115783U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 耿越;蔡佩芝;龐鳳春;古樂(lè);車春城;趙楠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B01L3/00
• 分類號(hào): B01L3/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張?zhí)焓?/td>

1.一種微流控芯片，包括：基底，位于所述基底上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)單元包括驅(qū)動(dòng)電極，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電極包括設(shè)置在所述基底上、且材料不同的第一極片和第二極片；所述第一極片和所述第二極片電連接；每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)單元還包括：檢測(cè)模塊；

所述檢測(cè)模塊包括第一信號(hào)端和第二信號(hào)端；所述第一信號(hào)端與所述第一極片電連接；所述第二信號(hào)端與所述第二極片電連接；

所述微流控芯片還包括：電壓供給模塊；

所述電壓供給模塊，用于在液滴驅(qū)動(dòng)階段，給所述第一信號(hào)端加載驅(qū)動(dòng)電壓，以控制液滴的移動(dòng)；在溫度檢測(cè)階段，給所述第一信號(hào)端加載恒定電壓，以供根據(jù)所述第一信號(hào)端和所述第二信號(hào)端上的壓差，獲取位于所述第二極片上的液滴溫度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述檢測(cè)模塊還包括：第一電阻和多級(jí)放大器；其中，

所述第一電阻的一端連接所述第二極片，另一端連接第一級(jí)放大器的正相輸入端；最后一級(jí)放大器的輸出端連接第二信號(hào)端；各級(jí)放大器的反向輸入端連接第一信號(hào)端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微流控芯片，其特征在于，每一級(jí)所述放大器均包括第二電阻、第三電阻，以及開(kāi)關(guān)晶體管；其中，

所述第二電阻的一端連接所述開(kāi)關(guān)晶體管的控制極，且用作所述放大器的正相輸入端，所述第二電阻的另一端連接所述電阻的一端；所述第三電阻的另一端連接所述開(kāi)關(guān)晶體管的第一極，且用作所述放大器的反相輸入端；所述開(kāi)關(guān)晶體管的第二極用作所述放大器的輸出端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微流控芯片，其特征在于，所述第一電阻、所述第二電阻和所述第三電阻均包括電阻絲；所述電阻絲與所述第二極片同層設(shè)置且材料相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電極中的第一極片和第二極片沿背離所述基底方向依次設(shè)置，且二者在所述基底上的正投影至少部分重疊；所述第一極片和所述第二極片通過(guò)貫穿位于二者之間的層間絕緣層的第一過(guò)孔電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，在所述驅(qū)動(dòng)電極所在層上方還依次設(shè)置有第一絕緣層和第二絕緣層；且在所述第一絕緣層和所述第二絕緣層中形成第二過(guò)孔；且在所述第二過(guò)孔處裸露第二極片的至少部分位置；其中，所述第二絕緣層的材料包括疏水材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，

所述第一極片的材料包括鉬，所述第二極片的材料包括氧化銦錫；或者，

所述第一極片的材料包括氧化銦錫，所述第二極片的材料包括鉬。