[實用新型]用于生產(chǎn)半導(dǎo)體電池的設(shè)備和用于清潔印刷裝置的清潔裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820392369.5
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN208507633U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 達維德·科萊
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料意大利有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

一種用于生產(chǎn)半導(dǎo)體電池的設(shè)備，所述設(shè)備包括：印刷裝置，用于在半導(dǎo)體電池上印刷；監(jiān)控裝置，經(jīng)構(gòu)造以監(jiān)控所述印刷的半導(dǎo)體電池的特征；和清潔裝置，經(jīng)構(gòu)造為用于基于所述半導(dǎo)體電池的監(jiān)控的特征來清潔印刷裝置的至少數(shù)個部分。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開內(nèi)容的實現(xiàn)方式涉及用于生產(chǎn)半導(dǎo)體電池的設(shè)備。所述設(shè)備包括：印刷裝置，用于在半導(dǎo)體電池上印刷；監(jiān)控裝置，經(jīng)構(gòu)造以監(jiān)控印刷的半導(dǎo)體的特征；和清潔裝置，經(jīng)構(gòu)造為用于基于半導(dǎo)體電池的監(jiān)控的特征來清潔印刷裝置的至少數(shù)個部分。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體電池在許多現(xiàn)代工業(yè)領(lǐng)域中都使用到，例如在電子工業(yè)或太陽能電池工業(yè)中。在半導(dǎo)體電池的生產(chǎn)中應(yīng)用的工藝具有化學(xué)組分和物理組分。除了化學(xué)涂覆工藝、蝕刻和清潔工藝外，也使用了物理方法，諸如物理涂覆和清潔工藝、離子注入、結(jié)晶或溫度工藝(例如漫射、加熱和熔化)。其他重要工藝使用化學(xué)和物理工藝兩者，諸如光刻或化學(xué)機械平面化。另外，多種測量方法用于表征和工藝控制。對于(微)電子電路的生產(chǎn)，半導(dǎo)體技術(shù)工藝以某種序列而應(yīng)用在基板上。基板通常為半導(dǎo)體單晶(通常為硅)薄片，例如薄于1 毫米的晶片。特別在集成電路生產(chǎn)中，電子部件和組件的功能在近表面(例如，低于100納米的深度)區(qū)域中實現(xiàn)。在該技術(shù)領(lǐng)域中，晶片的材料性質(zhì)，尤其電性質(zhì)被特定地改性和織構(gòu)。

絲網(wǎng)印刷很早就已在電子工業(yè)中用來在基板的表面上印刷電子部件設(shè)計，諸如電觸點或互連。現(xiàn)有技術(shù)半導(dǎo)體電池，尤其太陽能電池的制造工藝，也使用了絲網(wǎng)印刷工藝。由于技術(shù)發(fā)展，在基板上、或在半導(dǎo)體電池上形成的結(jié)構(gòu)變得越來越小且越來越精細，從而增強電池性能。例如，工業(yè)旨在提高太陽能電池的效率。由于對高功率的半導(dǎo)體電池的較高需求，半導(dǎo)體電池的生產(chǎn)也變得越來越復(fù)雜，其中成本壓力同時增加。為了精確印刷，印刷機必須被定期維護，這主要地包括印刷機的部件的清潔。對印刷機的定期清潔產(chǎn)生停機時間，尤其引起用于生產(chǎn)半導(dǎo)體電池的制造系統(tǒng)的生產(chǎn)停工。停機時間造成生產(chǎn)能力的較低的利用率和半導(dǎo)體電池的較高的成本。

鑒于上述，本公開內(nèi)容旨在提供帶有印刷裝置的生產(chǎn)半導(dǎo)體電池的設(shè)備，所述設(shè)備克服上述問題中的至少一些問題。本公開內(nèi)容尤其旨在提供具有改善的清潔工藝的用于生產(chǎn)半導(dǎo)體的設(shè)備。此外，本公開內(nèi)容尤其旨在提供在半導(dǎo)體電池設(shè)備中對印刷裝置的改善的清潔。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述，提供了用于生產(chǎn)半導(dǎo)體電池的設(shè)備，設(shè)備包括：印刷裝置，用于在半導(dǎo)體電池上印刷；監(jiān)控裝置，經(jīng)構(gòu)造以監(jiān)控印刷的半導(dǎo)體電池的特征；和清潔裝置，經(jīng)構(gòu)造為用于基于半導(dǎo)體電池的監(jiān)控的特征來清潔印刷裝置的至少一個部分。

根據(jù)本公開內(nèi)容的一個方面，印刷裝置包括絲網(wǎng)，并且清潔裝置經(jīng)構(gòu)造以清潔絲網(wǎng)的一個部分。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，提供了用于向絲網(wǎng)印刷裝置供應(yīng)半導(dǎo)體電池的運輸構(gòu)型，運輸構(gòu)型在印刷裝置與監(jiān)控裝置之間形成用于半導(dǎo)體電池的運輸路徑。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，運輸構(gòu)型包括轉(zhuǎn)臺。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，轉(zhuǎn)臺具有包括尖端的星形主體。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，星形主體具有彎曲形狀，彎曲形狀在位于尖端之間的側(cè)面區(qū)域上提供凹陷。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，運輸構(gòu)型包括滑閘。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，半導(dǎo)體電池支撐件布置在運輸構(gòu)型上，其中清潔裝置可布置在半導(dǎo)體電池支撐件上。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，監(jiān)控裝置經(jīng)構(gòu)造以將半導(dǎo)體電池劃分成數(shù)個區(qū)段并且經(jīng)構(gòu)造以監(jiān)控電池的至少一個區(qū)段的特征，其中印刷裝置的至少一個部分對應(yīng)于半導(dǎo)體電池的至少一個區(qū)段。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，半導(dǎo)體電池的特征包括指狀物中斷部。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，清潔裝置包括摩擦單元。