[實用新型]用于生產半導體電池的設備和用于清潔印刷裝置的清潔裝置

有效

• 申請號: 201820392369.5
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN208507633U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 達維德·科萊
• 申請（專利權）人: 應用材料意大利有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于生產半導體電池的設備，其特征為，所述設備包括：

印刷裝置，用于在半導體電池上印刷；

監控裝置，經構造以監控所述印刷的半導體電池的特征，以及

清潔裝置，經構造為用于基于所述半導體電池的監控的特征來清潔所述印刷裝置的至少一個部分。

2.如權利要求1所述的設備，其特征為，所述印刷裝置包括絲網，并且所述清潔裝置經構造以清潔所述絲網的一個部分。

3.如權利要求1所述的設備，其特征為，提供用于向所述印刷裝置供應半導體電池的運輸構型，所述運輸構型在所述印刷裝置與所述監控裝置之間形成用于半導體電池的運輸路徑。

4.如權利要求3所述的設備，其特征為，所述運輸構型包括轉臺。

5.如權利要求4所述的設備，其特征為，所述轉臺具有包括尖端的星形主體。

6.如權利要求5所述的設備，其特征為，所述星形主體具有彎曲形狀，所述彎曲形狀在位于所述尖端之間的側面區域上提供凹陷。

7.如權利要求3所述的設備，其特征為，所述運輸構型包括滑閘。

8.如權利要求3所述的設備，其特征為，

半導體電池支撐件布置在所述運輸構型上，其中所述清潔裝置可布置在所述半導體電池支撐件上。

9.如權利要求4所述的設備，其特征為，

半導體電池支撐件布置在所述運輸構型上，其中所述清潔裝置可布置在所述半導體電池支撐件上。

10.如權利要求1至9中任一項所述的設備，其特征為，所述監控裝置經構造以將所述半導體電池劃分成數個區段并且經構造以監控所述半導體電池的至少一個區段的特征，其中所述印刷裝置的所述至少一個部分對應于所述半導體電池的至少一個區段。

11.如權利要求1至9中任一項所述的設備，其特征為，所述半導體電池的所述特征包括指狀物中斷部。

12.如權利要求10所述的設備，其特征為，所述半導體電池的所述特征包括指狀物中斷部。

13.如權利要求1至9中任一項所述的設備，其特征為，所述清潔裝置包括摩擦單元。

14.如權利要求10所述的設備，其特征為，所述清潔裝置包括摩擦單元。

15.如權利要求12所述的設備，其特征為，所述清潔裝置包括摩擦單元。

16.如權利要求1至9中任一項所述的設備，其特征為，所述清潔裝置可布置在半導體電池支撐件處。

17.一種用于清潔印刷裝置的清潔裝置，其特征為，所述清潔裝置可布置在半導體電池支撐件處。

18.如權利要求17所述的清潔裝置，其特征為，所述清潔裝置包括摩擦單元。

19.如權利要求18所述的清潔裝置，其特征為，所述摩擦單元可被夾持到圓柱形突出物上，所述圓柱形突出物可固定在所述清潔裝置的表面上。

20.如權利要求17所述的清潔裝置，其特征為，所述清潔裝置經構造以清潔所述印刷裝置的至少數個部分，所述印刷裝置的所述數個部分對應于半導體電池的數個區段。