[實用新型]一種嵌入多層PCB板的薄膜熱電偶溫度傳感器有效
| 申請號： | 201820341260.9 | 申請日： | 2018-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN208060038U | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發明（設計）人： | 崔云先;牟瑜;劉秋雨;楊琮;李東明;丁萬昱 | 申請（專利權）人： | 大連交通大學 |
| 主分類號： | G01K7/02 | 分類號： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 王丹;李洪福 |
| 地址： | 116028 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜熱電偶 單層覆銅板 沉積 本實用新型 溫度傳感器 多層PCB板 絕緣薄膜 軸線對稱 熱電極 熱電偶 嵌入 傳感器保護板 薄膜熱電 保護薄膜 定位準確 矩形薄膜 準確測量 傳感器 拋光 搭接 壓合 清洗 測量 響應 | ||
1.一種嵌入多層PCB板的薄膜熱電偶溫度傳感器，其特征在于，包括：
單層覆銅板；所述單層覆銅板由銅箔材料層-半固化片-銅箔材料層根據PCB板壓合工藝和參數依次疊加壓合而成；
沉積于所述單層覆銅板表面的絕緣薄膜；
沉積于所述絕緣薄膜上的第一薄膜熱電極；
與所述第一薄膜熱電極相互搭接以構成熱接點的第二薄膜熱電極；
沉積于薄膜熱電偶熱接點表面的保護薄膜；
作為第一薄膜熱電極的引線的第一補償導線；
作為第二薄膜熱電極的引線的第二補償導線；
以及與所述鍍有薄膜熱電偶的單層覆銅板進行壓合以構成薄膜熱電偶傳感器保護板的單層覆銅板保護板；
其中，所述第一薄膜熱電極為兩個分別沿熱電偶軸線對稱分布的矩形薄膜熱電極；所述第二薄膜熱電極為沿熱電偶軸線對稱分布且兩端分別與兩個第一薄膜熱電極相互搭接的T型薄膜熱電極，所述第一薄膜熱電極與所述第二薄膜熱電極相搭接重合的部分為熱接點。
2.根據權利要求1所述的薄膜熱電偶溫度傳感器，其特征在于：
所述絕緣薄膜為采用直流脈沖磁控濺射加射頻偏壓間歇性沉積制備而成的SiO2薄膜；所述第一薄膜熱電極以及第一補償導線均采用鎳鉻合金材料制備；所述第二薄膜熱電極以及第二補償導線均采用鎳硅合金材料制備；所述保護薄膜為采用直流脈沖磁控濺射加射頻偏壓間歇性沉積制備而成SiOxNy保護薄膜。
3.根據權利要求1所述的薄膜熱電偶溫度傳感器，其特征在于：
所述薄膜熱電偶傳感器包含兩個相互獨立工作的薄膜熱電偶以能夠對同一溫度點進行兩次測量。
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