[實用新型]一種柔性基片襯底的異質結構器件有效
| 申請號： | 201820234722.7 | 申請日： | 2018-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN208189597U | 公開（公告）日： | 2018-12-04 |
| 發明（設計）人： | 李雙美;張東;何喬;李關民;王敏 | 申請（專利權）人： | 沈陽工程學院 |
| 主分類號： | H01L29/861 | 分類號： | H01L29/861;H01L29/45;H01L29/24;H01L21/34;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈陽銘揚聯創知識產權代理事務所(普通合伙) 21241 | 代理人： | 呂敏 |
| 地址： | 110136 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚酰亞胺 抗腐蝕保護層 異質結構器件 導電薄膜層 柔性基片 材料層 襯底 透明導電薄膜 柔性襯底層 材料晶格 襯底基片 導電電極 導電性能 電子器件 規模生產 器件功率 使用壽命 有效解決 電阻率 緩沖層 融合度 失配 蒸鍍 制備 薄膜 腐蝕 緩解 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：從下到上依次包括聚酰亞胺柔性襯底層、第一導電薄膜層、Ga2O3材料層、VO2材料層、第二導電薄膜層及抗腐蝕保護層。
2.根據權利要求1所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述第一導電薄膜層和第二導電薄膜層均為AZO透明導電薄膜層。
3.根據權利要求2所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述AZO透明導電薄膜層厚度為100nm至500nm。
4.根據權利要求1所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述抗腐蝕保護層為TiN抗腐蝕保護層。
5.根據權利要求4所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述TiN抗腐蝕保護層的厚度為200nm至800nm。
6.根據權利要求1所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述Ga2O3材料層的厚度為400-600nm。
7.根據權利要求1所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述VO2材料層的厚度為600-900nm。
8.根據權利要求1所述的柔性基片襯底的異質結構器件，其特征在于：所述聚酰亞胺柔性襯底層的厚度為0.4～1.2mm。
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