[實用新型]一種用于晶片劃傷檢測的旋轉工作平臺

有效

• 申請號: 201820215063.2
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN207992082U
• 公開（公告）日: 2018-10-19
• 發明（設計）人: 張俊;曹建偉;傅林堅;孫明;吳文泉;張雄;董炯杰
• 申請（專利權）人: 浙江晶瑞電子材料有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于晶片劃傷檢測的旋轉工作平臺，包括用于檢測晶片的目鏡組件；其特征在于，該目鏡組件包括一個固定在底部支撐板上的支撐塊，豎向的目鏡軸以其下端安裝在支撐塊上，水平的懸臂板安裝在目鏡軸的上端，目鏡固定在懸臂板伸出的末端；該旋轉工作平臺還包括晶片旋轉主軸組件，由豎向依次連接的旋轉主軸座、旋轉主軸和旋轉載臺組成；在旋轉主軸座中設置套裝在旋轉主軸下端部的軸承組件，旋轉主軸座通過固定塊安裝在底部支撐板上；旋轉載臺固定在旋轉主軸的上端部，其上表面設置用于承載晶片的硅膠塊，硅膠塊位于所述目鏡的正下方。

2.根據權利要求1所述的旋轉工作平臺，其特征在于，所述目鏡軸與支撐塊的連接方式是下述的任意一種：

(1)支撐塊為中空框型結構，其頂部設長條形槽孔；目鏡軸的下端面設帶螺紋的沉孔，外六角頭螺栓在穿過長條形槽孔后與沉孔配合安裝，將目鏡軸固定在支撐塊上；

(2)支撐塊為中空框型結構，其頂部設長條形槽孔；目鏡軸的下端面設帶限位臺階的外螺紋接頭，外螺紋接頭在穿過長條形槽孔后與螺母配合安裝，將目鏡軸固定在支撐塊上；

(3)支撐塊上設置能沿與晶片旋轉主軸組件連線方向移動的齒條，目鏡軸的下端固定在齒條上，齒條通過傳動機構連接至步進電機或旋鈕。

3.根據權利要求1所述的旋轉工作平臺，其特征在于，所述懸臂板與目鏡軸連接方式是下述的任意一種：

(1)懸臂板固定連接至軸連接板，軸連接板是一個夾裝部件，由螺栓緊固安裝在目鏡軸的上端；

(2)懸臂板固定連接至軸連接板，軸連接板套裝在目鏡軸的上端并能繞軸轉動，軸連接板還通過傳動機構連接至步進電機或旋鈕；懸臂板端部設有一個能豎向位移的齒條，所述目鏡固定在齒條上，齒條通過傳動機構連接至步進電機或旋鈕。

4.根據權利要求1所述的旋轉工作平臺，其特征在于，所述軸承組件包括位于旋轉主軸座上端的頂部軸承壓蓋、套裝在旋轉主軸下端部的軸承和位于旋轉主軸部底部的底部軸承壓蓋。