[實用新型]一種光輻照懸空電容的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820201312.2
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN207895147U
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設計）人: 孫國柱;戴欣;李永超;江俊良;潘佳政;吳培亨
• 申請（專利權(quán)）人: 南京大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

1.一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于，包括：

用于承載懸空電容樣品(402)的無氧銅腔體(308)；用于承載所述無氧銅腔體(308)的支撐裝置(309)；光纖移動裝置(310)；

其中，所述無氧銅腔體(308)固定在支撐裝置(309)上，無氧銅腔體(308)的內(nèi)部安放懸空電容樣品(402)；所述支撐裝置(309)固定在CCD平臺的基座上；所述光纖移動裝置(310)固定在CCD平臺的移動平臺上，且位于無氧銅腔體(308)的下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于：所述無氧銅腔體(308)包括第一無氧銅腔體(101)、第二無氧銅腔體(102)、SMA接頭(103)、PCB板(401)、帶聚焦準直器的光纖(203)、用于固定帶聚焦準直器的光纖(203)的夾具(202)和用于固定夾具(202)的壓條(201)，所述第二無氧銅腔體(102)與第一無氧銅腔體(101)組合在一起，構(gòu)成封閉的空間，用于承載懸空電容樣品(402)；所述PCB板(401)固定在第一無氧銅腔體(101)的內(nèi)部，所述SMA接頭(103)分別固定在第一無氧銅腔體(101)的兩側(cè)，SMA接頭(103)的第一中心導體(404)與PCB板(401)的第二中心導體(403)通過焊錫連接；所述夾具(202)在對光過程中固定光纖移動裝置(310)中上，對光結(jié)束后，所述夾具(202)通過壓條(201)固定在第一無氧銅腔體(101)的表面上，所述帶聚焦準直器的光纖(203)位于夾具(202)的中間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于：所述第一無氧銅腔體(101)和第二無氧銅腔體(102)的底部分別開有第一通光孔(105)和第二通光孔(701)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于：所述承載無氧銅腔體(308)的支撐裝置(309)包括基座固定架(301)和橫梁(307)，所述基座固定架(301)固定在CCD平臺的基座上，所述橫梁(307)與基座固定架(301)用螺絲銜接在一起，構(gòu)成承載無氧銅腔體(308)的支撐裝置(309)，橫梁(307)用于固定第一無氧銅腔體(101)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于：所述光纖移動裝置(310)包括第一支撐架(304)和第二支撐架(305)，所述第一支撐架(304)固定在CCD平臺的移動平臺上，所述第二支撐架(305)與第一支撐架(304)用螺絲銜接在一起，第二支撐架(305)用于承載夾具(202)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于：所述懸空電容樣品(402)為微加工工藝制作的微尺度的電容樣品，包括硅基底(501)、鋁膜接地面(504)、共面波導傳輸線(502)以及LC諧振電路(503)；所述硅基底(501)是整個懸空電容樣品(402)的載體，所述LC諧振電路(503)、鋁膜接地面(504)和共面波導傳輸線(502)均制作在硅基底(501)上，所述共面波導傳輸線(502)位于硅基底(501)的正中間，所述鋁膜接地面(504)位于共面波導傳輸線(502)的兩側(cè)，鋁膜接地面(504)與共面波導傳輸線(502)之間有溝道隔開。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光輻照懸空電容的裝置，其特征在于：所述LC諧振電路(503)包括上極板(602)、下極板(603)和螺旋電感(601)，所述LC諧振電路(503)的數(shù)量是8個，均勻分布在所述共面波導傳輸線(502)的兩側(cè)，所述上極板(602)和下極板(603)均位于每個LC諧振電路(503)的正中間，上極板(602)與下極板(603)上下正對，構(gòu)成平面電容器，所述螺旋電感(601)呈螺旋狀圍繞著上極板(602)和下極板(603)。