[實用新型]高產能薄膜沉積裝置

有效

• 申請號: 201820196788.1
• 申請日: 2018-02-05
• 公開（公告）號: CN208121198U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 熊旭明;王延凱;陳慧娟;蔡淵
• 申請（專利權）人: 蘇州新材料研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 范晴

1.一種高產能薄膜沉積裝置，其特征在于，包括：

沉積腔，數量不少于1個，其中至少一個設有沉積源；

原始帶卷盤腔，其內設有與走帶系統相連的原始基帶盤，且通過第一基帶真空鎖與沉積腔相連；

以及產品帶卷盤腔，其內設有與走帶系統相連的產品基帶盤，且通過第二基帶真空鎖與沉積腔相連；

所述原始帶卷盤腔、沉積腔和產品帶卷盤腔均連接有抽真空裝置和去真空裝置，所述第一及第二基帶真空鎖在有帶材從中穿過且帶材處于靜止狀態的情況下對原始帶卷盤腔、沉積腔和產品帶卷盤腔進行高真空密封。

2.根據權利要求1所述的高產能薄膜沉積裝置，其特征是，所述第一及第二基帶真空鎖均由閥體和活塞構成，閥體內設有活塞腔體，活塞可活動的設置于活塞腔體內并在底部固定有真空密封套，真空密封套底部和閥體之間設有基帶通道，真空密封套通過活塞壓于帶材上進行高真空密封。

3.根據權利要求1或2所述的高產能薄膜沉積裝置，其特征是，所述第一及第二基帶真空鎖在進行高真空密封時，漏氣率小于10^-5Torr.l/s。

4.根據權利要求1所述的高產能薄膜沉積裝置，其特征是，所述沉積腔連接有第一高真空泵，所述第一高真空泵經管路連接至第一粗抽真空泵，所述第一高真空泵和第一粗抽真空泵之間設有第一粗抽閥。

5.根據權利要求4所述的高產能薄膜沉積裝置，其特征是，所述原始帶卷盤腔、產品帶卷盤腔分別經管路連接至第一粗抽真空泵；所述原始帶卷盤腔與第一粗抽真空泵之間設有第一去真空閥和第二粗抽閥，所述產品帶卷盤腔與第一粗抽真空泵之間設有第二去真空閥和第三粗抽閥；所述原始帶卷盤腔與沉積腔通過管路相連并在管路上設有第一漸抽閥，所述產品帶卷盤腔與沉積腔通過管路相連并在管路上設有第二漸抽閥。

6.根據權利要求4所述的高產能薄膜沉積裝置，其特征是，所述原始帶卷盤腔經第一高真空閥連接至第二高真空泵，所述第二高真空泵經管路連接至第二粗抽真空泵，所述第二高真空泵與第二粗抽真空泵之間設有第一支持閥，所述第二粗抽真空泵經管路連接至原始帶卷盤腔并且在管路上設有第四粗抽閥；

所述產品帶卷盤腔經第二高真空閥連接至第三高真空泵，所述第三高真空泵經管路連接至第三粗抽真空泵，所述第三高真空泵與所述第三粗抽真空泵之間設有第二支持閥，所述第三粗抽真空泵經管路連接至產品帶卷盤腔并且在管路上設有第五粗抽閥；

所述原始帶卷盤腔的腔壁上設有第三去真空閥，所述產品帶卷盤腔的腔壁上設有第四去真空閥。