[實用新型]原位激光刻劃裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820129362.4 | 申請日： | 2018-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN208132211U | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 白雨成;全義九;李相文;張昌泳;丁鐘國;邊娜恩 | 申請（專利權）人： | 株式會社SELCOS;勝顯（上海）商貿(mào)有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/70;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識產(chǎn)權代理有限公司 31236 | 代理人： | 莊文莉 |
| 地址： | 韓國京畿道華城*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光刻劃裝置 真空腔 本實用新型 薄膜太陽能電池 制造工藝 基板 太陽能電池單元 透明導電膜 大氣狀態(tài) 電池單元 光吸收層 生產(chǎn)效率 真空狀態(tài) 背電極 刻劃 移出 制備 加工 制造 激光 節(jié)約 外部 | ||
【權利要求書】：
1.一種原位激光刻劃裝置，其特征在于，包括：
為制備薄膜太陽能電池，放置基板的真空腔；及
設置在所述真空腔的外部，利用激光對所述真空腔內(nèi)放置的基板進行刻劃的激光刻劃裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的原位激光刻劃裝置，其特征在于，還包括位于所述真空腔上方，將激光束發(fā)射到所述基板上側(cè)用于刻劃在所述真空腔中已進行處理的基板的激光驅(qū)動部；
位于所述激光驅(qū)動部的上方，輸出用于對準位置的視覺信號使所述激光驅(qū)動部發(fā)射的激光具有直進性的視覺部；及
位于所述真空腔下方，接收所述視覺部輸出的視覺信號并對準所述激光驅(qū)動部位置的對準部。
3.根據(jù)權利要求2所述的原位激光刻劃裝置，其特征在于，還包括可使所述激光驅(qū)動部根據(jù)預定構(gòu)圖移動的傳送部。
4.根據(jù)權利要求2所述的原位激光刻劃裝置，其特征在于，
所述基板包括背電極層、光吸收層和透明導電膜層，
所述激光刻劃裝置還包括控制部，用于控制所述激光驅(qū)動部使其對所述基板的各層選擇性地進行刻劃。
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