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[實(shí)用新型]一種便于擴(kuò)膜后切割黏性薄膜的輔助裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201820129009.6 申請(qǐng)日: 2018-01-25
公開(公告)號(hào): CN207705179U 公開(公告)日: 2018-08-07
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 張曉光;黃永光;李月 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 河南仕佳光子科技股份有限公司
主分類號(hào): H01L21/687 分類號(hào): H01L21/687
代理公司: 鄭州優(yōu)盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41125 代理人: 張紹琳;謝萍
地址: 458030 河*** 國(guó)省代碼: 河南;41
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 黏性薄膜 子母環(huán) 圓筒外壁 晶圓 切割 輔助裝置 相等 本實(shí)用新型 中心區(qū)域 膜過(guò)程 向下壓 圓筒端 支撐子 重合 拉伸 母環(huán) 外壁
【權(quán)利要求書】:

1.一種便于擴(kuò)膜后切割黏性薄膜的輔助裝置,其特征在于:包括支撐圓筒(1),在支撐圓筒(1)的外圓周面上設(shè)置有若干切割導(dǎo)向槽(2),所述切割導(dǎo)向槽(2)間隔平行設(shè)置;且支撐圓筒(1)的外徑與子母環(huán)的外徑相等,支撐圓筒(1)的內(nèi)徑與子母環(huán)的內(nèi)徑相等。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的便于擴(kuò)膜后切割黏性薄膜的輔助裝置,其特征在于:所述切割導(dǎo)向槽(2)為方槽、半圓槽和三角槽中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的便于擴(kuò)膜后切割黏性薄膜的輔助裝置,其特征在于:所述支撐圓筒(1)為鋁或不銹鋼或者塑料制成的圓筒。

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1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說(shuō)明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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