[實用新型]一種固晶機的穩定固晶結構有效
| 申請號: | 201820114010.1 | 申請日: | 2018-01-23 |
| 公開(公告)號: | CN207719162U | 公開(公告)日: | 2018-08-10 |
| 發明(設計)人: | 黃志軍 | 申請(專利權)人: | 河源創基電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 東莞市永橋知識產權代理事務所(普通合伙) 44400 | 代理人: | 何新華 |
| 地址: | 517300 廣東省河源市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 固晶 料道 真空吸頭 輸出端 芯片定位機構 底板 本實用新型 攝像頭 定位機構 加熱模塊 轉移機構 芯片 固晶機 擺臂 支架 送料機構 有效減少 固定架 芯片盤 點膠 加工 合格率 移動 配合 | ||
1.一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,包括底板(10),所述底板(10)上固定有芯片定位機構(20)、y軸料道定位機構(30)和支架(40),所述芯片定位機構(20)和所述支架(40)沿x軸設置形成取料裝置,所述取料裝置和所述y軸料道定位機構(30)沿y軸設置;
所述芯片定位機構(20)的輸出端固定有芯片盤固定架(21),所述y軸料道定位機構(30)的輸出端固定有x軸走向的料道(31),所述料道(31)上設有加熱模塊(32)和送料機構(33),所述支架(40)上固定有第一攝像頭(41)、第二攝像頭(42)和芯片轉移機構(50),所述第一攝像頭(41)位于所述芯片盤固定架(21)的上方,所述第二攝像頭(42)位于所述料道(31)的上方,所述芯片轉移機構(50)的輸出端固定有固晶擺臂(51),所述固晶擺臂(51)遠離所述芯片轉移機構(50)的一端固定有真空吸頭(52)。
2.根據權利要求1所述的一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,所述芯片定位機構(20)包括兩個垂直設置的定位絲桿結構。
3.根據權利要求1所述的一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,所述y軸料道定位機構(30)為定位絲桿結構。
4.根據權利要求1所述的一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,所述加熱模塊(32)設置于所述第二攝像頭(42)的下方。
5.根據權利要求1所述的一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,所述送料機構(33)包括沿送料架(331),所述送料架(331)上固定有沿y軸轉動的送料電機(332),所述送料電機(332)的輸出端同軸固定有送料輪(333),所述送料輪(333)位于所述料道(31)的上方。
6.根據權利要求5所述的一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,所述送料輪(333)外包覆有橡膠層。
7.根據權利要求1所述的一種固晶機的穩定固晶結構,其特征在于,所述芯片轉移機構(50)包括z軸驅動結構(501),所述z軸驅動結構(501)的輸出端固定有沿z軸轉動的旋轉驅動電機(502),所述旋轉驅動電機(502)的輸出端與所述固晶擺臂(51)遠離所述真空吸頭(52)的一端固定連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





