[實用新型]一種在真空環境下轉移大面積二維材料的轉移平臺

有效

• 申請號: 201820102682.0
• 申請日: 2018-01-22
• 公開（公告）號: CN207938577U
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 包文中;張思夢;昝武;周鵬;張衛
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;陸尤

1.一種在真空環境下轉移大面積二維材料的轉移平臺，其特征在于，所述轉移平臺包括加熱臺、真空密封箱、Z軸方向真空貫通裝置、真空泵、底架、頂架、抽真空閥門、放氣閥門和真空計；

所述真空密封箱放置在加熱臺上，所述真空密封箱包括金屬材料的底部、耐高溫透明材料的側壁，以及密封頂蓋，所述頂蓋可打開；所述真空密封箱底部的中心設有凹槽；

所述Z軸方向真空貫通裝置的內部包括轉動Z軸方向真空貫通裝置的轉軸，所述轉軸豎直貫穿Z軸方向真空貫通裝置，并延伸出Z軸方向真空貫通裝置的上下兩端；所述Z軸方向真空貫通裝置豎直貫穿真空密封箱頂蓋；

所述頂架固定在轉軸的下端，正對真空密封箱底部的凹槽；所述頂架由表面平整的金屬材料制成，頂架下表面有定位用的十字標記；所述底架固定在真空密封箱底部的凹槽中；所述底架由導熱性良好的金屬材料制成，表面平整，底架上表面有定位用的十字標記；

所述抽真空閥門、放氣閥門和真空計分別安裝在真空密封箱上；所述抽真空閥門通過接真空泵的管路與真空泵相連。

2.根據權利要求1所述的在真空環境下轉移大面積二維材料的轉移平臺，其特征在于，所述Z軸方向真空貫通裝置能在豎直方向直線移動，并且不會影響真空密封箱的真空度。

3.根據權利要求2所述的在真空環境下轉移大面積二維材料的轉移平臺，其特征在于，所述Z軸方向真空貫通裝置為不銹鋼粗螺紋結構。

4.根據權利要求1所述的在真空環境下轉移大面積二維材料的轉移平臺，其特征在于，所述頂蓋四周有密封橡膠圈。