[實(shí)用新型]一種氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820091707.1
• 申請(qǐng)日: 2018-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN207877925U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李成明;黃業(yè);劉鵬;張國(guó)義
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B25/14
• 分類號(hào): C30B25/14;C30B29/40
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 羅曉林;楊桂洋

1.一種氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，包括鎵源盛放部，其特征在于，所述鎵源盛放部?jī)?nèi)設(shè)有導(dǎo)流壁，該導(dǎo)流壁與鎵源盛放部的側(cè)壁之間形成有進(jìn)氣口和出氣口，導(dǎo)流壁位于鎵源盛放部?jī)?nèi)的液面上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流壁與鎵源盛放部?jī)?nèi)的液面之間設(shè)有導(dǎo)流體，導(dǎo)流壁與導(dǎo)流體之間具有通道，導(dǎo)流體與鎵源盛放部?jī)?nèi)的液面之間具有流通通道。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流壁為直線型、規(guī)則曲線型或者不規(guī)則曲線型結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流體呈規(guī)則形狀或者不規(guī)則形狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流壁與導(dǎo)流體位于鎵源盛放部的相同位置或者不同位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流壁和導(dǎo)流體位于鎵源盛放部的中心位置或者邊緣位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流壁、導(dǎo)流體以及鎵源盛放部的制備材料相同或不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氫化物氣相外延反應(yīng)鎵舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)流壁與導(dǎo)流體的表面可以為光面或毛面。