[實用新型]制絨后硅片清洗檢測裝置有效

申請號：	201820087447.0	申請日：	2018-01-18
公開（公告）號：	CN207781552U	公開（公告）日：	2018-08-28
發明（設計）人：	胡琴;吳家宏;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤	申請（專利權）人：	常州億晶光電科技有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;H01L21/02;H01L21/66
代理公司：	常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258	代理人：	鄭云
地址：	213000 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	提拉槽電阻率測試儀硅片制絨本實用新型硅片清洗檢測裝置電阻率溢流管溢流口報警器信號太陽能電池工藝處理硅片制絨后續工藝化學藥液再次水洗轉換效率報警器上端檢測放入獲知酸洗連通清洗流出殘留污染
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【權利要求書】：

1.一種制絨后硅片清洗檢測裝置，其特征在于：包括PLC控制器(1)、電阻率測試儀(2)、報警器(3)及裝有純水的慢提拉槽體(4)，所述慢提拉槽體(4)的上端具有溢流口(4-1)，所述慢提拉槽體(4)的溢流口(4-1)處連通有溢流管(5)，所述電阻率測試儀(2)用于檢測溢流管(5)中液體的電阻率，所述PLC控制器(1)分別與電阻率測試儀(2)及報警器(3)信號連接。

2.根據權利要求1所述的制絨后硅片清洗檢測裝置，其特征在于：所述報警器(3)為聲光報警器。

3.根據權利要求1所述的制絨后硅片清洗檢測裝置，其特征在于：所述慢提拉槽體(4)的下端連通有進水管(6)，所述進水管(6)上設置有水泵(7)。

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