[實用新型]一種切割機防反向拿取裝置

有效

• 申請號: 201820074059.9
• 申請日: 2018-01-17
• 公開（公告）號: CN207841795U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 聶偉;陳志遠;孟強;吳秋明;王坤
• 申請（專利權）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;H01L21/67
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 董旭東

本實用新型公開了晶圓切割加工領域內的一種切割機防反向拿取裝置，包括切割機，切割機上一體設置有工作臺，工作臺位于切割機前側，工作臺上放置有晶圓盒，所述工作臺的左右兩側均設置有擋板，兩擋板平行設置，兩個擋板之間設有可轉動的驅動軸，驅動軸與擋板相垂直，驅動軸中部固定連接有擺動桿，擺動桿的端部一體設置有固定軸，固定軸與擺動桿相垂直，固定軸上轉動連接有推動輥，推動輥與晶圓盒相對應設置，所述工作臺的前方對應設置有輸送機構。本實用新型能夠避免工作人員從側面反方向拿取晶圓盒，導致晶圓掉落并撞壞，可以保護晶圓產品。

技術領域

本實用新型屬于晶圓切割加工領域，特別涉及一種切割機防反向拿取裝置。

背景技術

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999%。現有技術中，切割加工晶圓時，將多個晶圓裝在晶圓盒里，晶圓盒放在切割機工作臺上，抓取機構將晶圓盒抓取到切割機工作區，完成晶圓切割作業后，抓取機構再將晶圓送到切割機工作臺上，工作人員將切割好的晶圓盒拿走，其不足之處在于：晶圓盒上設有卡夾，切割機工作臺上未安裝擋板，工作人員可以從側面拿取晶圓盒，從而觸碰到卡夾，導致卡夾松開，晶圓掉落出來并撞壞。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種切割機防反向拿取裝置，能夠避免工作人員從側面反方向拿取晶圓盒，導致晶圓掉落并撞壞，可以保護晶圓產品。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種切割機防反向拿取裝置，包括切割機，切割機上一體設置有工作臺，工作臺位于切割機前側，工作臺上放置有晶圓盒，所述工作臺的左右兩側均設置有擋板，兩擋板平行設置，兩個擋板之間設有可轉動的驅動軸，驅動軸與擋板相垂直，驅動軸中部固定連接有擺動桿，擺動桿的端部一體設置有固定軸，固定軸與擺動桿相垂直，固定軸上轉動連接有推動輥，推動輥與晶圓盒相對應設置，所述工作臺的前方對應設置有輸送機構。

本實用新型工作時，驅動軸轉動帶動擺動桿擺動，推動輥推動晶圓盒進入輸送機構，驅動軸轉動的速率與切割機的切割速率相匹配，完成一次晶圓切割后，驅動軸轉動一周，將裝有晶圓的晶圓盒推動到輸送機構上。與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：工作臺兩側的擋板可以防止工作人員從側面反方向拿取晶圓盒，保護晶圓產品；推動輥推動晶圓盒時可以轉動，不會將晶圓盒撞壞；操作十分方便，將晶圓盒一次送到指定工位。

作為本實用新型的進一步改進，所述工作臺上設有安裝座，安裝座上設有與擋板相匹配的安裝槽，擋板插入安裝槽內，安裝槽內壁設有三角形防滑凸起，防滑凸起與擋板相接觸。擋板可以拆裝，更加方便，防滑凸起可以避免擋板松開。

作為本實用新型的進一步改進，所述兩擋板上均設有連接座，驅動軸的兩端分別轉動支撐在對應連接座上，其中一擋板上設有電機架，電機架上設有電機，電機軸經聯軸器與驅動軸傳動連接。電機帶動驅動軸轉動，驅動軸帶動擺動桿擺動，電機的轉速與切割機的切割速率相適應。

作為本實用新型的進一步改進，所述固定軸的左右兩端均轉動連接有推動輥，推動輥與固定軸的軸線相重合。兩個推動輥可以更加平穩地推動晶圓盒。

作為本實用新型的優選，所述輸送機構包括前傳動輥和后傳動輥，前傳動輥和后傳動輥之間設有輸送帶。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為擋板和工作臺的剖視圖。

圖3為驅動軸和擺動桿的剖視圖。

圖4為輸送機構的結構示意圖。