[實用新型]一種用于還原尾氣高純硅粉收集器

有效

• 申請號: 201820072276.4
• 申請日: 2018-01-16
• 公開（公告）號: CN207838486U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 秦亮;張希海;劉慎
• 申請（專利權）人: 詢萊流體技術（上海）有限公司
• 主分類號: B01D45/16
• 分類號: B01D45/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于還原尾氣高純硅粉收集器，具有罐體，罐體上設有進氣管、旋風分離器和氣體出口，所述罐體為圓柱體結構且為收集器主體，所述的進氣管設于罐體的頂部，進氣管的上端凸出于罐體外部、下端與所述旋風分離器連通；旋風分離器設于罐體內部且具有多個，每個旋風分離器的上部都與所述進氣管連通，旋風分離器圍繞罐體中心環形均勻布置，旋風分離器內部具有螺旋形的流道使得氣體產生螺旋形流向，旋風分離器的下端設有翼閥。本實用新型的優點：維護成本低，還可以回收高純硅粉，用于氮化硅廠家原料，而且，高純硅粉收集后，進入下游的硅粉量極大降低，可有效保護下游設備的免受磨損、堵塞，對下游的平穩運行，起了很好的保障作用。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅還原裝置高純硅粉收集相關技術領域，具體涉及一種用于還原尾氣高純硅粉收集器。

背景技術

還原尾氣夾帶的細硅粉溫度高，壓力高，硅粉非常細，平均粒徑不到5微米，最大粒徑不超過10微米。如果不及時去除還原尾氣中的硅粉，會導致下游管道及設備磨損嚴重，也會產生堵塞，不利于裝置的平穩運行。而且這么細的硅粉進入下游后，無法回收，而這種粒度的高純硅粉是生產氮化硅的理想原料，因此細硅粉進入下游造成了資源浪費。

目前該行業的國內及國外企業，還沒有對還原尾氣中的細硅粉進行回收，任由其進入下游CDI裝置，隨著氣相冷凝后，再用過濾器將細硅粉過濾下來，但是由于硅粉非常細，過濾器反沖洗頻率很高，壓降較大，更換頻率很高，所以成本較高，而且會造成液相輸送泵故障率較高。而且過濾器濾芯非常容易堵塞，需要經常更換過濾器，維護成本極高。

本實用新型利用維護成本幾乎可以忽略的旋風分離器分離這種細硅粉，得到的細硅粉可以作為氮化硅原料，回收了一部分成本，這不但有效保護了下游設備及管道，減輕其磨損，而且減輕了下游處理成本。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了彌補現有技術的不足，提供了一種維護簡單、收集效果好的用于還原尾氣高純硅粉收集器。

為了達到本實用新型的目的，技術方案如下：

一種用于還原尾氣高純硅粉收集器，具有罐體，其特征在于，所述罐體上設有進氣管、旋風分離器和氣體出口，所述罐體為圓柱體結構且為收集器主體，所述的進氣管設于罐體的頂部，進氣管的上端凸出于罐體外部、下端與所述旋風分離器連通；旋風分離器設于罐體內部且具有多個，每個旋風分離器的上部都與所述進氣管連通，旋風分離器圍繞罐體中心環形均勻布置，旋風分離器內部具有螺旋形的流道使得氣體產生螺旋形流向，旋風分離器的下端設有翼閥。

優選地，罐體下部設有硅粉收集器，硅粉收集器的底部設有硅粉下料口；罐體內部上端具有集氣室，氣體出口位于罐體側頂部并與所述集氣室連通。

本實用新型具有的有益效果：

維護成本低，還可以回收高純硅粉，用于氮化硅廠家原料，而且，高純硅粉收集后，進入下游的硅粉量極大降低，可以有效保護下游設備的免受磨損、堵塞，對下游的平穩運行，起了很好的保障作用。

附圖說明

圖1是本實用用于還原尾氣高純硅粉收集器的結構示意圖；

圖2為圖1的俯視結構示意圖；

圖3為圖1的A-A向結構示意圖。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型作進一步描述，但本實用新型的保護范圍不僅僅局限于實施例。