[發(fā)明專利]脫模力測試裝置及其測試方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811641323.3 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN111380637B | 公開（公告）日： | 2022-03-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 季剛;吳澤星;高麗 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫華潤華晶微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01L5/00 | 分類號： | G01L5/00;G01N19/04;B29C45/40 |
| 代理公司： | 北京博思佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 脫模 測試 裝置 及其 方法 | ||
本申請?zhí)峁┮环N脫模力測試裝置及其測試方法。該脫模力測試裝置包括：模具，所述模具內(nèi)放置有待脫模產(chǎn)品；頂出組件，所述頂出組件的一端穿設(shè)于所述模具，且與所述待脫模產(chǎn)品活動連接；壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)于所述頂出組件的另一端，且位于所述模具外，所述壓力傳感器對所述頂出組件施加作用力以使所述頂出組件將所述待脫模產(chǎn)品頂出所述模具，并檢測所述頂出組件將所述待脫模產(chǎn)品頂出所述模具的脫模力的力值。該脫模力測試方法使用該脫模力測試裝置。本發(fā)明通過設(shè)置壓力傳感器將產(chǎn)品脫模時的頂出力測量出來，從而量化的判斷產(chǎn)品的脫模力。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及脫模力測試裝置及其測試方法。
背景技術(shù)
在半導(dǎo)體后道封裝塑封工序，不同塑封料產(chǎn)品脫模時受到的脫模力不一樣，而現(xiàn)有的技術(shù)手法只能通過表觀定性的判斷產(chǎn)品脫模情況，而無法定量的判斷產(chǎn)品脫模力的大小。這樣當(dāng)兩種塑封料生產(chǎn)的產(chǎn)品均能順利脫模時，就無法判斷兩種產(chǎn)品其所受脫模應(yīng)力大小；而脫模力的大小，會對產(chǎn)品內(nèi)部產(chǎn)生不同的應(yīng)力，影響產(chǎn)品性能。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種脫模力測試裝置及其測試方法，通過設(shè)置壓力傳感器將產(chǎn)品脫模時的頂出力測量出來，從而量化的判斷產(chǎn)品的脫模力。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例提供一種脫模力測試裝置。所述脫模力測試裝置包括：
模具，所述模具內(nèi)放置有待脫模產(chǎn)品；
頂出組件，所述頂出組件的一端穿設(shè)于所述模具，且與所述待脫模產(chǎn)品活動連接；
壓力傳感器，所述壓力傳感器設(shè)于所述頂出組件的另一端，且位于所述模具外，所述壓力傳感器對所述頂出組件施加作用力以使所述頂出組件將所述待脫模產(chǎn)品頂出所述模具，并檢測所述頂出組件將所述待脫模產(chǎn)品頂出所述模具的脫模力的力值。
可選的，所述脫模力測試裝置還包括基座和反推板，所述模具設(shè)置于所述基座的上方，所述反推板位于所述基座的下方，所述壓力傳感器安裝于所述反推板上，所述頂出組件的一端由靠近所述壓力傳感器至遠(yuǎn)離所述壓力傳感器的方向依次穿設(shè)于所述基座和所述模具，所述頂出組件的另一端抵靠于所述壓力傳感器的上表面。
可選的，所述脫模力測試裝置還包括復(fù)位彈性體，所述復(fù)位彈性體設(shè)于所述基座與所述反推板之間，所述復(fù)位彈性體的兩端分別抵靠于所述基座與所述反推板。
可選的，所述脫模力測試裝置還包括壓力傳感器固定板，所述壓力傳感器固定板安裝于所述反推板上，并在所述反推板帶動下向靠近所述模具的方向移動；所述壓力傳感器固定于所述壓力傳感器固定板面向所述頂出組件的一面，所述壓力傳感器至少部分突出于所述壓力傳感器固定板的外緣。
可選的，所述壓力傳感器與所述壓力傳感器固定板之間設(shè)有隔熱塊。
可選的，所述壓力傳感器固定板通過固定件固定于所述反推板上；所述壓力傳感器固定板與所述反推板之間設(shè)有隔熱墊圈，所述固定件穿設(shè)于所述隔熱墊圈。
可選的，所述頂出組件與所述壓力傳感器固定板通過限位螺釘連接；所述限位螺釘包括依次連接的頭部、圓柱部和螺紋部，所述頭部的外徑大于所述圓柱部的外徑，所述圓柱部的外徑大于所述螺紋部的外徑，所述頭部滑設(shè)于所述壓力傳感器固定板的導(dǎo)向槽中，所述導(dǎo)向槽中靠近所述頂出組件的一端設(shè)有限位部，所述限位部限制所述頭部向所述頂出組件方向移動，所述螺紋部與所述頂出組件螺紋連接，所述圓柱部的長度確保所述頂出組件的軸向活動空間。
可選的，所述頂出組件包括頂桿和第一頂桿墊板，所述頂桿的一端與所述待脫模產(chǎn)品活動連接，所述頂桿另一端穿出所述模具，且安裝于所述第一頂桿墊板。
可選的，所述頂出組件還包括頂桿隔熱板和第二頂桿墊板，所述第二頂桿墊板設(shè)于所述第一頂桿墊板與所述壓力傳感器之間，所述頂桿隔熱板設(shè)于所述第一頂桿墊板與所述第二頂桿墊板之間。
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