[發(fā)明專利]一種外腔半導體激光陣列相干合束方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811636327.2
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN109638631B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設計）人: 肖瑜;唐霞輝;胡聰;覃貝倫
• 申請（專利權）人: 華中科技大學;深圳華中科技大學研究院
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;G02B27/10
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李智;曹葆青

1.一種外腔半導體激光陣列相干合束裝置，其特征在于，所述裝置包括半導體bar條、透射型衍射光學元件和輸出鏡；

所述半導體bar條的一個端面鍍增反膜；另一個端面鍍增透膜；

所述透射型衍射光學元件，用于控制外腔內(nèi)模式，使得與半導體bar條結構相匹配的高階厄米高斯光束成為輸出激光的主模，從而實現(xiàn)相干合束；

所述輸出鏡用于提供激光耦合輸出。

2.一種外腔半導體激光陣列相干合束裝置，其特征在于，所述裝置包括半導體bar條、第一透射型衍射光學元件、第二透射型衍射光學元件、全反鏡和輸出鏡；

所述半導體bar條的兩個端面均鍍有增透膜；

所述第一透射型衍射光學元件，用于控制外腔內(nèi)模式，使得與半導體bar條結構相匹配的高階厄米高斯光束成為輸出激光的主模，從而實現(xiàn)相干合束；

所述第二透射型衍射光學元件和半導體bar條的另一端面之間構成激光諧振腔；所述全反鏡位于第二透射型衍射光學元件的外端；所述全反鏡用于提供激光反饋；

所述輸出鏡用于提供激光耦合輸出。

3.一種外腔半導體激光陣列相干合束裝置，其特征在于，所述裝置包括半導體bar條、透射型衍射光學元件、反射型衍射光學元件和輸出鏡；

所述半導體bar條的兩個端面均鍍有增透膜；

所述透射型衍射光學元件，用于控制外腔內(nèi)模式，使得與半導體bar條結構相匹配的高階厄米高斯光束成為輸出激光的主模，從而實現(xiàn)相干合束；所述反射型衍射光學元件，用于控制外腔內(nèi)模式，使得與半導體bar條結構相匹配的高階厄米高斯光束成為輸出激光的主模，從而實現(xiàn)相干合束；同時提供激光反饋；所述反射型衍射光學元件和半導體bar條的另一端面之間構成激光諧振腔；

所述輸出鏡用于提供激光耦合輸出。

4.一種外腔半導體激光陣列相干合束裝置，其特征在于，所述裝置包括半導體bar條、透射型衍射光學元件、輸出鏡、多個反射鏡和一個光隔離器；

所述多個反射鏡用于構成環(huán)形激光諧振腔；

所述半導體bar條的兩個端面均鍍有增透膜；所述半導體bar條位于所述環(huán)形激光諧振腔內(nèi)部

所述透射型衍射光學元件，用于控制外腔內(nèi)模式，使得與半導體bar條結構相匹配的高階厄米高斯光束成為輸出激光的主模，從而實現(xiàn)相干合束；所述透射型衍射光學元件位于所述環(huán)形激光諧振腔內(nèi)部；

所述光隔離器位于環(huán)形激光諧振腔內(nèi)部；用于使得所述環(huán)形激光諧振腔內(nèi)部只有單向傳輸?shù)男胁ǎ?/p>

所述輸出鏡用于作為環(huán)形激光諧振腔的輸出鏡。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種外腔半導體激光陣列相干合束裝置，其特征在于，所述裝置還包括一個光柵；

所述多個反射鏡和一個光柵用于構成環(huán)形激光諧振腔；

所述光柵用于選擇特定的激光波長作為諧振腔內(nèi)的諧振波長。

6.根據(jù)權利要求1、2、3、4或5所述的一種外腔半導體激光陣列相干合束裝置，其特征在于，所述半導體bar條的端面方向與外腔的光軸方向之間的夾角為布魯斯特角。