[發明專利]一種雙片制絨分片機在審
| 申請號: | 201811634901.0 | 申請日: | 2018-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN109638112A | 公開(公告)日: | 2019-04-16 |
| 發明(設計)人: | 寧佐強;何鵬;莫計亨 | 申請(專利權)人: | 無錫尚品高自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/67;C30B33/08 |
| 代理公司: | 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 吳肖敏 |
| 地址: | 214000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 花籃 硅片 吸盤機構 輸送線 雙片 制絨 六軸機器人 存放盒 分片機 模組 下層 裝滿 皮帶輸送線 緩存 平臺機構 上料平臺 對接處 黑硅 裝片 主線 | ||
1.一種雙片制絨分片機,其特征在于,包括機架(1)、左上料平臺機構(2)、右上料平臺機構(3)、側吸盤機構(4)、分片吸盤機構(5)、下料緩存機構(6)、緩存整位機構(7)、硅片皮帶輸送線機構(8)、自動換籃機構(9)和花籃輸送線機構(10);
所述左上料平臺機構(2)和右上料平臺機構(3)各設置有可前后移動的模組機構A(11),模組機構A11安裝在具有3度傾角的臺面板(12)上;模組機構A(10)上安裝滑動底板(13),滑動底板(13)上安裝前花籃放置治具托板(14)和后花籃放置治具托板(15),滑動底板(13)上安裝有花籃定位機構(16);
所述側吸盤機構(4)包括吸盤機構(41)、X軸模組機構(42)及Y軸模組機構(43),吸盤機構(41)上安裝六十片吸盤A(44)和六十片隔片A(45),六十片吸盤A(44)和六十片隔片A(45)安裝在吸盤固定機構A(46)上;吸盤固定機構(46)安裝固定在Y軸模組機構(43)上,Y軸模組機構(43)安裝固定在X軸模組機構(42)上,X軸模組機構(42)安裝固定在有3度傾角的臺面板(12)上;所述分片吸盤機構(5)安裝六十片吸盤B(51)和六十片隔片B(52),六十片吸盤B(51)和六十片隔片B(52)安裝在吸盤固定機構B(53)上,分片吸盤機構(5)安裝在六軸機器人(17)上;
所述下料緩存機構(6)包括模組機構上設置有可上下移動的模組機構B1(8),硅片存放盒機構(19)安裝在模組機構B1(8)上,緩存整位機構(7)安裝在硅片存放盒機構(19)一側;模組機構B1(8)連接至硅片皮帶輸送線機構(8),硅片皮帶輸送線機構(8)包括A段硅片皮帶輸送線機構(81)和B段硅片皮帶輸送線機構(82);
所述自動換籃機構(9)上設置有花籃切換模組(91),換籃花籃輸送線機構(92)安裝在花籃切換模組(91)上,換籃花籃輸送線機構(92)上裝有花籃整位機構(93)和壓籃機構(94);所述花籃輸送線機構(10)上設置有上層空花籃進籃輸送線機構(101)和下層滿花籃出籃輸送線機構(102),下層滿花籃出籃輸送線機構(102)上設有動力電機(103)、輸送同步帶(104)、輸送基座(105);所述動力電機(103)安裝在輸送基座(105)下方,輸送基座(105)上安裝輸送同步帶(104)。
2.根據權利要求1所述的一種雙片制絨分片機,其特征在于,所述機架(1)用鋁型材材料制成。
3.根據權利要求1所述的一種雙片制絨分片機,其特征在于,所述后花籃放置治具托板(14)上設置花籃到位檢測感應器。
4.根據權利要求1所述的一種雙片制絨分片機,其特征在于,所述六十片吸盤A(44)、六十片吸盤B(45)、六十片隔片A(51)和六十片隔片B(52)均采用陶瓷材料制成。
5.根據權利要求1所述的一種雙片制絨分片機,其特征在于,所述機架(1)上安裝有三套下料緩存機構(6)、三套緩存整位機構(7)以及三個通道硅片皮帶輸送線機構(8)。
6.根據權利要求1所述的一種雙片制絨分片機,其特征在于,所述A段硅片皮帶輸送線機構(81)其上設有支撐立柱A(811),輸送橫梁8(12),平皮帶輸送電機A(813),輸送皮帶(814),輸送主動輪(815)和輸送從動輪(816);所述支撐立柱A(811)上方安裝輸送橫梁(812),輸送橫梁(812)上安裝輸送皮帶(814);輸送皮帶(814)一端安裝輸送主動輪(815),平皮帶輸送電機A(813)安裝在輸送主動輪(815)一側,輸送皮帶(814)另一端安裝輸送從動輪(816)。
7.根據權利要求1所述的一種雙片制絨分片機,其特征在于,所述B段硅片皮帶輸送線機構(82)其上設有支撐立柱B(821),平皮帶輸送電機B(822),輸送伸縮橫梁(823),伸縮導軌(824),伸縮動力電機(825),伸縮動力電機同步帶(826);所述支撐立柱B(821)上方安裝伸縮動力電動機(825),支撐立柱B(821)一側安裝伸縮動力電動機同步帶(826);伸縮動力電動機同步帶(826)下方安裝伸縮導軌(824),伸縮導軌(824)一側安裝平皮帶輸送電機B(822),平皮帶輸送電機B(822)上方安裝輸送伸縮橫梁(823);所述A段硅片皮帶輸送線機構(81)連接至輸送伸縮橫梁(823)。
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H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





