[發明專利]雙面圖案化的方法及觸控面板的制造方法

有效

• 申請號: 201811623090.4
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109614008B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 蔡漢龍;陳秉揚;陳俊銘
• 申請（專利權）人: 業成科技（成都）有限公司;業成光電（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 成都希盛知識產權代理有限公司 51226
• 代理人: 楊冬梅;張行知

1.一種雙面圖案化的方法，其特征在于，包含：

提供一透明疊層，該透明疊層具有一第一表面及與其相對之一第二表面；

分別形成一圖案化第一光阻層和一圖案化第二光阻層于該第一表面和該第二表面上；

形成一透明層覆蓋該圖案化第一光阻層；

于該透明層上形成一第三光阻層；以及

以該圖案化第二光阻層為遮罩，圖案化該透明層上之該第三光阻層。

2.如權利要求1所述之方法，在分別形成該圖案化第一光阻層和該圖案化第二光阻層于該第一表面和該第二表面上的步驟中，包含：

選擇光密度大于等于3或者包含不透光材料的該圖案化第二光阻層。

3.一種觸控面板的制造方法，其特征在于，包含：

提供一透明基板，該透明基板具有一第一表面及與其相對之一第二表面；

形成一圖案化透明感測層于該第一表面上；

分別形成一圖案化第一光阻層和一圖案化第二光阻層于該圖案化透明感測層和該第二表面上；

形成一透明導電層覆蓋該圖案化第一光阻層；以及

以該圖案化第二光阻層為遮罩，圖案化該透明導電層以形成一圖案化導電橋。

4.如權利要求3所述之制造方法，在形成該圖案化透明感測層于該第一表面上的步驟中，包含：

形成多個第一感測單元及多個第二感測單元于該第一表面上，其中該些第一感測單元在一第一方向上排列成一行，且該些第二感測單元在實質上垂直該第一方向上排列成一列。

5.如權利要求4所述之制造方法，在分別形成該圖案化第一光阻層和該圖案化第二光阻層于該圖案化透明感測層和該第二表面上的步驟中，包含：

形成多個開口于該圖案化第一光阻層，且該些第二感測單元的一部分由該些開口暴露出來。

6.如權利要求4所述之制造方法，在以該圖案化第二光阻層為遮罩，圖案化該透明導電層以形成該圖案化導電橋的步驟中，包含：

將該圖案化導電橋電性連接至任兩相鄰的該些第二感測單元。

7.如權利要求3所述之制造方法，在分別形成該圖案化第一光阻層和該圖案化第二光阻層于該圖案化透明感測層和該第二表面上的步驟中，包含：

選擇光密度大于等于3或者包含不透光材料的該圖案化第二光阻層。

8.一種觸控面板的制造方法，其特征在于，包含：

提供一透明基板，該透明基板具有一第一表面及與其相對之一第二表面；

形成一透明感測層于該第一表面上；

分別形成一圖案化第一光阻層和一圖案化第二光阻層于該透明感測層和該第二表面上；

以該圖案化第一光阻層為遮罩，圖案化該透明感測層以形成一圖案化透明感測層；

形成一第三光阻層覆蓋該圖案化透明感測層；

以該圖案化第二光阻層為遮罩，圖案化該第三光阻層，其中該圖案化第三光阻層具有多個開口暴露出部分的該圖案化透明感測層；以及

形成一圖案化導電橋于該些開口中。

9.如權利要求8所述之制造方法，在形成該圖案化透明感測層于該第一表面上的步驟中，包含：

形成多個第一感測單元及多個第二感測單元于該第一表面上，其中該些第一感測單元在一第一方向上排列成一行，且該些第二感測單元在實質上垂直該第一方向上排列成一列。

10.如權利要求9所述之制造方法，在形成該圖案化導電橋于該些開口中的步驟中，包含：

將該圖案化導電橋電性連接至任兩相鄰的該些第二感測單元。