[發明專利]一種肖特基二極管及無線充電系統

在審

• 申請號: 201811619903.2
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109698243A
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 李薇;李雯
• 申請（專利權）人: 西安科銳盛創新科技有限公司
• 主分類號: H01L29/872
• 分類號: H01L29/872;H01L29/06;H01L21/329;H02J50/20
• 代理公司: 西安嘉思特知識產權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 劉長春

本發明涉及一種肖特基二極管及無線充電系統，包括：Si襯底(101)；第一Ge層(102)，設置于所述Si襯底(101)的第一表面；第二Ge層(103)，設置于所述第一Ge層(102)的上表面，為脊狀臺階結構；SiGe層(104)，設置于所述第二Ge層(103)的臺階表面；第一金屬電極(105)，設置于所述第二Ge層(103)的上表面；第二金屬電極(106)，設置于所述Si襯底(101)的第二表面。本發明通過在肖特基二極管的Ge層四周設置SiGe從而在Ge中引入應力，進而形成的肖特基二極管具有較高的遷移率，可大大提升能量轉換效率。

技術領域

本發明屬半導體器件制備技術領域，特別涉及一種肖特基二極管及無線充電系統。

背景技術

隨著科技的發展，目前，人們生活已經離不開各種電子設備以及汽車等，如手機、PDA、電話手表等大量的便攜式電子設備均需使用充電電池，而越來越普及的電動汽車等也需要充電電池；這些設備一旦電池電量耗盡，就需要及時充電。通常使用的充電器在工作時都是通過傳輸線與負載設備相連接，而各個廠商生產的充電器接口各不相同，因此可能存在電安全問題，而且經常會出現插接時接頭接觸不良，特別是在長期使用后，可能產生接觸不良等現象或故障；其次不同設備的充電接口不同，不能通用，如果用戶需要對多個設備同時充電，就要連接多個充電器，造成了使用的不便。于是一種感應式無線充電裝置應運而生。

無線充電裝置是基于無線能量傳輸系統(Wireless Power Transfer,WPT)，一種能夠突破傳輸線限制輸送電能的裝置。隨著無線充電技術在生活中越來越廣泛的應用，提升無線充電能量傳輸轉換效率變的越來越重要，轉換效率的提高不僅有利節約能源，也可以提高充電速度。

隨著無線充電市場越來越激烈的競爭，提高無線充電的轉換效率無疑可以提高企業的競爭力，而在無線能量傳輸系統整流電路內的整流二極管，即整流天線內的肖特基二極管，決定著最高轉換效率的大小；因此制備一種高轉換效率肖特基二極管變的尤為重要。

發明內容

為了解決上述技術問題，一方面，本發明提供了一種肖特基二極管，包括：

Si襯底101；

第一Ge層102，設置于所述Si襯底101的第一表面；

第二Ge層103，設置于所述第一Ge層102的上表面，為脊狀臺階結構；

SiGe層104，設置于所述第二Ge層103的臺階表面；

第一金屬電極105，設置于所述第二Ge層103的上表面；

第二金屬電極106，設置于所述Si襯底101的第二表面。

在本發明的一個實施例中，所述Si襯底101為N型單晶Si襯底，摻雜濃度為1×10²⁰cm^-3，厚度為300～400μm。

在本發明的一個實施例中，所述第一Ge層102材料為N型Ge材料，摻雜濃度為1×10²⁰cm^-3，厚度為40～50nm。

在本發明的一個實施例中，所述第二Ge層103材料為N型Ge材料，摻雜濃度為1.8×10¹⁴～2×10¹⁴cm^-3，厚度為900～950nm。

在本發明的一個實施例中，所述SiGe層104材料為Si_0.xGe_0.x材料，厚度為20nm。

在本發明的一個實施例中，所述Si_0.xGe_0.x材料中x取值為0.5。