[發明專利]太赫茲時域光譜儀

在審

• 申請號: 201811619452.2
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN109520620A
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 何堅兵;劉永禎;趙洪美;潘奕;黃培雄
• 申請（專利權）人: 深圳市太赫茲科技創新研究院有限公司;雄安華訊方舟科技有限公司
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/02
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 高星

1.一種太赫茲時域光譜儀，至少能夠與反射成像裝置/透射譜測試裝置配合使用，其特征在于，包括：

光譜儀主機體，包括用于產生太赫茲波的太赫茲發生器以及與所述太赫茲發生器連接的安裝配合結構，所述安裝配合結構與所述反射成像裝置/所述透射譜測試裝置可拆卸連接，所述太赫茲發生器在與所述反射成像裝置配合使用時能夠進行掃描成像作業，而在與所述透射譜測試裝置配合使用時能夠進行透射譜測試作業；

樣品承載結構，用于承載測試樣品，具有掃描作業位置和掃描待業位置，所述樣品承載結構在所述掃描作業位置時供所述太赫茲發生器掃描所述測試樣品，所述樣品承載結構在所述掃描待業位置時避讓所述反射成像裝置/所述透射譜測試裝置，以使所述反射成像裝置/所述透射譜測試裝置能夠安裝至所述光譜儀主機體或從所述光譜儀主機體拆離；

掃描驅動裝置，用于驅動所述樣品承載結構往復運動于所述掃描作業位置和所述掃描待業位置之間，并用于驅動所述樣品承載結構在所述樣品承載結構處于所述掃描作業位置時進行掃描動作。

2.如權利要求1所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述掃描驅動裝置包括與所述樣品承載結構連接的橫向驅動裝置以及與所述橫向驅動裝置連接的縱向驅動裝置，所述橫向驅動裝置用于驅動所述樣品承載結構在所述樣品承載結構處于所述掃描作業位置時進行橫向掃描作業，所述縱向驅動裝置用于驅動所述樣品承載結構往復運動于所述掃描作業位置和所述掃描待業位置之間，并用于驅動所述樣品承載結構在所述樣品承載結構處于所述掃描作業位置時進行縱向掃描作業。

3.如權利要求2所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述縱向驅動裝置包括縱向滑軌以及沿所述縱向滑軌滑動的縱向滑塊，所述縱向滑塊與所述橫向驅動裝置連接，所述縱向驅動裝置還包括縱向驅動器以及與所述縱向驅動器電性連接的縱向電連接器和/或縱向微控旋鈕，所述縱向驅動器用于驅動所述縱向滑塊在所述樣品承載結構處于所述掃描作業位置時沿所述縱向滑軌滑動，所述縱向電連接器用于與所述光譜儀主機體電性連接，并用于控制所述縱向滑塊沿所述縱向滑軌滑動的步長，所述縱向微控旋鈕用于手動調節所述縱向滑塊沿所述縱向滑軌滑動的步長。

4.如權利要求3所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述掃描驅動裝置還包括緩沖連接件，所述緩沖連接件用于連接所述縱向滑塊與所述橫向驅動裝置，并用于避免所述橫向驅動裝置在進行橫向掃描作業時與所述光譜儀主機體摩擦。

5.如權利要求2所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述橫向驅動裝置包括橫向滑軌以及沿所述橫向滑軌滑動的橫向滑塊，所述樣品承載結構與所述橫向滑塊連接，所述橫向驅動裝置還包括橫向驅動器以及與所述橫向驅動器電性連接的橫向電連接器，所述橫向驅動器用于驅動所述橫向滑塊在所述樣品承載結構處于所述掃描作業位置時沿所述橫向滑軌滑動，所述橫向電連接器用于與所述光譜儀主機體電性連接，并用于控制所述橫向滑塊沿所述橫向滑軌滑動的步長。

6.如權利要求5所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述光譜儀主機體還包括電性轉接結構，所述電性轉接結構通過具有多個電導線的線纜來與所述橫向電連接器電性連接。

7.如權利要求2所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述光譜儀主機體還包括掃描待業結構以及與所述掃描待業結構連接的縱向安裝結構，所述掃描待業結構用于當所述樣品承載結構在所述掃描待業位置時容置所述橫向驅動裝置和所述樣品承載結構，所述縱向安裝結構用于安裝所述縱向驅動裝置。

8.如權利要求7所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述太赫茲時域光譜儀還包括支撐件，所述支撐件用于支撐所述縱向驅動裝置，并用于使所述縱向驅動裝置的頂平面與所述縱向安裝結構的頂平面平齊。

9.如權利要求1至8中任一項所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述樣品承載結構包括承載本體以及調節機構，所述承載本體用于承載所述測試樣品，所述調節機構用于調節所述承載本體兩側使所述測試樣品處于一水平面。

10.如權利要求9所述的太赫茲時域光譜儀，其特征在于，所述太赫茲時域光譜儀還包括樣品連接件，所述樣品連接件用于連接所述樣品承載結構與所述掃描驅動裝置。