[發(fā)明專利]一種用于ESD防護(hù)的肖特基鉗位SCR器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811617793.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN109698194B
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 喬明;齊釗;梁龍飛;何林蓉;張發(fā)備;童成偉;張波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L27/02
• 分類號(hào): H01L27/02
• 代理公司: 成都點(diǎn)睛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51232
• 代理人: 敖歡;葛啟函

1.一種用于ESD防護(hù)的肖特基鉗位SCR器件，其特征在于，包括：P型襯底(01)、P型襯底(01)上方的p阱區(qū)(02)和n阱區(qū)(03)，且p阱區(qū)(02)和n阱區(qū)(03)相切，在p阱區(qū)(02)內(nèi)部的第一n+注入層(21)與第一p+注入層(11)，在n阱區(qū)(03)內(nèi)部的第三n+注入層(23)及第二p+注入層(12)，跨接在n阱區(qū)(03)和p阱區(qū)(02)之間的用于降低擊穿電壓的第二n+注入層(22)，第一金屬孔(31)與第三n+注入層(23)相接觸，第二金屬孔(32)與第二p+注入層(12)相接觸，第三金屬孔(33)與第一p+注入層(11)相接觸，第四金屬孔(34)與第一n+注入層(21)相接觸，第五金屬孔(35)直接與p阱區(qū)(02)相接形成肖特基接觸，構(gòu)成P型肖特基二極管(103)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ESD防護(hù)的肖特基鉗位SCR器件，其特征在于：在第二金屬孔(32)的左側(cè)n阱區(qū)上方設(shè)有第六金屬孔(36)，第六金屬孔(36)與n阱區(qū)(03)接觸形成N型肖特基二極管(104)。

3.一種用于ESD防護(hù)的肖特基鉗位SCR器件，其特征在于：包括：P型襯底(01)、P型襯底(01)上方的p阱區(qū)(02)和n阱區(qū)(03)，且p阱區(qū)(02)和n阱區(qū)(03)相切，在p阱區(qū)(02)內(nèi)部相切的第一n+注入層(21)與第一p+注入層(11)，在n阱區(qū)(03)內(nèi)部的第三n+注入層(23)及第二p+注入層(12)，跨接在n阱區(qū)(03)和阱區(qū)(02)之間的用于降低擊穿電壓的第二n+注入層(22)，第一金屬孔(31)與第三n+注入層(23)相接觸，第二金屬孔(32)與第二p+注入層(12)相接觸，第三金屬孔(33)與第一p+注入層(11)相接觸，第四金屬孔(34)與第一n+注入層(21)相接觸，在第二金屬孔(32)左側(cè)設(shè)有第六金屬孔(36)，第六金屬孔(36)與n阱區(qū)(03)接觸形成N型肖特基二極管(104)。