[發(fā)明專利]晶圓分割機產(chǎn)品標(biāo)簽錯誤預(yù)防裝置

在審

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• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN111383940A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姜澤芳
• 申請（專利權(quán)）人: 海太半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 無錫市朗高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

晶圓分割機產(chǎn)品標(biāo)簽錯誤預(yù)防裝置，包括鐵氟龍不粘層壓合板，所述不粘層壓板置于晶圓的滑道內(nèi)，該發(fā)明通過對設(shè)備報警邏輯的變更，使得不良異常發(fā)生時能夠第一時間報警，通知相關(guān)擔(dān)當(dāng)進行異常處理，避免的產(chǎn)品標(biāo)簽標(biāo)記錯誤的風(fēng)險，使得產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定有了非常可靠的保障，同時，通過對設(shè)備硬件結(jié)構(gòu)的研究改善，對產(chǎn)品標(biāo)簽錯誤發(fā)生的根源原因進行了改善，又再次減少了設(shè)備邏輯改造后的報警，在品質(zhì)安全確保的基礎(chǔ)上，完全未增加人力成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及晶圓分割機產(chǎn)品標(biāo)簽錯誤預(yù)防裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的晶圓分割機工作時，會經(jīng)常導(dǎo)致標(biāo)簽脫落的情況發(fā)生，脫落的標(biāo)簽經(jīng)常會粘貼到其他產(chǎn)品上。由于設(shè)備無相關(guān)的報警機制，常常會導(dǎo)致后工程識別錯產(chǎn)品標(biāo)簽，從而導(dǎo)致產(chǎn)品混料異常發(fā)生，導(dǎo)致大批量的產(chǎn)品品質(zhì)異常。

CN201410851915.3一種晶圓切割裝置，包括晶圓承載平臺、L形可伸縮支架、晶圓固定框架、滾輪和切割刀，所述切割刀固定在所述L形可伸縮支架的頂端，所述晶圓承載平臺連接在所述L形可伸縮支架的中間位置，所述晶圓承載平臺上覆蓋有粘性膜，所述晶圓固定框架設(shè)置于所述晶圓承載平臺上，用以固定待切割晶圓，所述滾輪安裝于所述晶圓承載平臺一側(cè)，用以在使用所述切割刀切割待切割晶圓后對待切割晶圓實施壓力，從而將待切割晶圓分割為若干晶粒。本發(fā)明集切割和分離與一體，減少成本，節(jié)省時間。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供晶圓分割機產(chǎn)品標(biāo)簽錯誤預(yù)防裝置，使得產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定有了非常可靠的保障，采用以下技術(shù)方案：包括鐵氟龍不粘層壓合板，所述不粘層壓板置于產(chǎn)品標(biāo)簽及膠層的上方，起到一定的壓合作用，可有效防止膠層翹起及破損，防止產(chǎn)品標(biāo)簽脫落.

優(yōu)選的，還包括有產(chǎn)品標(biāo)簽，所述產(chǎn)品標(biāo)簽置于晶圓旁邊露出的膠層上，在鐵氟龍不粘層壓板下方位置，分膜過程中可被鐵氟龍壓板很好的保護，可有效減少異常脫落。

優(yōu)選的，還包括有條形碼識別器，所述條形碼識別器置于分割機的進料、出料位置，所述條形碼識別器用于掃描產(chǎn)品標(biāo)簽，所述條形碼識別器與服務(wù)器進行數(shù)據(jù)交互。

優(yōu)選的，還包括報警裝置，所述報警裝置采用聲光報警。

優(yōu)選的，還包括有工控機，所述工控機與報警裝置連接，所述工控機與晶圓分割機連接，用于控制晶圓分割機的啟動、關(guān)閉。

優(yōu)選的，所述工控機采用PLC，如西門子PLC。

優(yōu)選的，所述工控機與服務(wù)器之間數(shù)據(jù)交互。

本發(fā)明的有益效果：該發(fā)明通過對設(shè)備報警邏輯的變更，使得不良異常發(fā)生時能夠第一時間報警，通知相關(guān)擔(dān)當(dāng)進行異常處理，避免的產(chǎn)品標(biāo)簽標(biāo)記錯誤的風(fēng)險，使得產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定有了非常可靠的保障，同時，通過對設(shè)備硬件結(jié)構(gòu)的研究改善，對產(chǎn)品標(biāo)簽錯誤發(fā)生的根源原因進行了改善，又再次減少了設(shè)備邏輯改造后的報警，在品質(zhì)安全確保的基礎(chǔ)上，完全未增加人力成本。

附圖說明

圖1為本專利申請的結(jié)構(gòu)原理圖；

圖2為本專利申請關(guān)于識別報警邏輯圖。

圖中，1、晶圓；2、不粘層壓板；3、膠層；4、底膜；5、產(chǎn)品標(biāo)簽。

具體實施方式

由圖1所示可知，本專利包括有產(chǎn)品標(biāo)簽，所述產(chǎn)品標(biāo)簽置于晶圓旁邊露出的膠層上，在不粘層壓板下方位置，膠層底部為底膜，所述不粘層壓板選用鐵氟龍材料。

優(yōu)選的，還包括有條形碼識別器，所述條形碼識別器置于分割機的進料、出料位置，所述條形碼識別器用于掃描產(chǎn)品標(biāo)簽，所述條形碼識別器與服務(wù)器進行數(shù)據(jù)交互，采用產(chǎn)品標(biāo)簽的識別與報警，用于記錄進出設(shè)備的產(chǎn)品標(biāo)簽的信息收集與對比。