[發明專利]超高真空用大行程精密壓電位移臺及其安裝方法

有效

• 申請號: 201811600237.8
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN109545274B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 王文杰
• 申請（專利權）人: 儀晟科學儀器（嘉興）有限公司
• 主分類號: G12B9/10
• 分類號: G12B9/10;G12B5/00
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王大國

1.一種超高真空用大行程精密壓電位移臺，包括位移臺基座和與位移臺基座相對位移的移動臺面，其特征在于，所述超高真空用大行程精密壓電位移臺還包括：

所述位移臺基座和移動臺面之間設有兩組交叉滾珠導軌組件，每組交叉滾珠導軌組件均設有兩個相互耦合的交叉滾珠導軌，每組交叉滾珠導軌組件的其中一個交叉滾珠導軌與位移臺基座固定連接，每組交叉滾珠導軌組件的另一個交叉滾珠導軌與移動臺面固定連接，通過位于側面的緊固螺絲調節交叉滾珠導軌組件相互絞合產生的預緊力；

所述位移臺基座和移動臺面之間還設有藍寶石片，所述藍寶石片與移動臺面固定連接；

所述位移臺基座的中部具有貫通腔，上述貫通腔內置有浮動滑塊、藍寶石球、鈹銅片和至少一個壓電陶瓷腿，各個壓電陶瓷腿的上部與藍寶石片相互接觸并且滑動配合，各個壓電陶瓷腿的下部與浮動滑塊粘接，所述藍寶石球部分內嵌于浮動滑塊，所述藍寶石球部分內嵌于鈹銅片，所述鈹銅片的兩端端部同時與位移臺基座固定連接，所述浮動滑塊與鈹銅片之間具有間隙。

2.根據權利要求1所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺，其特征在于，所述交叉滾珠導軌具有V型槽。

3.根據權利要求2所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺，其特征在于，所述V型槽的表面具有二硫化鉬保護層。

4.根據權利要求1所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺，其特征在于，位于所述交叉滾珠導軌的兩側的緊固螺絲用于限位。

5.根據權利要求1-4中任一權利要求所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺，其特征在于，所述壓電陶瓷腿的數量為2個。

6.根據權利要求1-4中任一權利要求所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺，其特征在于，所述超高真空用大行程精密壓電位移臺的行程為27mm，所述超高真空用大行程精密壓電位移臺的整體尺寸為40mm*40mm*12mm。

7.根據權利要求1-4中任一權利要求所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺，其特征在于，所述超高真空用大行程精密壓電位移臺采用無磁材質制成。

8.根據權利要求1-4中任一權利要求所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺的超高真空用大行程精密壓電位移臺安裝方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S1：固定兩組交叉滾珠導軌組件中的其中3個交叉滾珠導軌，同時暫時固定上述兩組交叉滾珠導軌組件中的剩余1個交叉滾珠導軌；

步驟S2：拆卸交叉滾珠導軌兩側的沿交叉滾珠導軌的長度方向設置的緊固螺絲，插入交叉滾珠導軌保持器后裝回緊固螺絲，在移動臺面左右移動的同時將交叉滾珠導軌保持器調節至中央位置；

步驟S3：將用于測量的量表分別固定于移動臺面的上表面和側面；

步驟S4：將移動臺面移動至一側的單邊盡頭，同時預鎖緊遠離該側的部分緊固螺絲；

步驟S5：將移動臺面移動至另一側的單邊盡頭，同時預鎖緊遠離該側的部分緊固螺絲；

步驟S6：將移動臺面移動至中央位置，同時預鎖緊位于中部的部分緊固螺絲。

9.根據權利要求8所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺安裝方法，其特征在于，上述超高真空用大行程精密壓電位移臺安裝方法還包括步驟S7：

步驟S7：分別調節位于各處的緊固螺絲直至移動臺面的間隙為零。

10.根據權利要求9所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺安裝方法，其特征在于，上述超高真空用大行程精密壓電位移臺安裝方法還包括步驟S8：

步驟S8：將步驟S1中的暫時固定的剩余1個交叉滾珠導軌再次予以緊固。

11.根據權利要求8所述的超高真空用大行程精密壓電位移臺安裝方法，其特征在于，步驟S1中的剩余1個交叉滾珠導軌為與移動臺面固定連接的交叉滾珠導軌。