[發明專利]一種高頻超導腔用超高真空熱處理爐

在審

• 申請號: 201811567150.5
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN109594057A
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 鄭承業
• 申請（專利權）人: 深圳四維高科技術有限公司
• 主分類號: C23C14/58
• 分類號: C23C14/58;C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：包括機架，以及安裝于機架上的離子泵，離子泵包括離子泵外殼，外殼內部具有一個加熱內膽，加熱內膽與外殼之間形成一個外真空腔室，加熱內膽內部形成一個內真空腔室，外殼的頂部設置一個工件輸送管，工件輸送管與內真空腔室相通，工件自工件輸送管輸送至內真空腔室中，所述外真空腔室內安裝有加熱器以及熱屏蔽層，所述熱屏蔽層環繞著外真空腔室內壁一圈設置，加熱器對加熱內膽進行加熱。

2.如權利要求1所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述工件輸送管內插入設置一根工件監測熱電偶，工件監測熱電偶向著底部的內真空腔室延伸。

3.如權利要求1所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述外殼的外部設置有一個外腔室充氣口以及一個外真空抽氣口，所述外腔室充氣口以及外真空抽氣口均與內部的外真空腔室相通。

4.如權利要求1所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述殼體的頂部正對著內部的內真空腔室設置有內腔室離子泵抽口以及內腔室分子泵抽口。

5.如權利要求4所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述內腔室離子泵抽口的一側安裝電離規、微調閥，內腔室分子泵抽口頂部安裝壓阻規，一側安裝充氣閥。

6.如權利要求1所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述離子泵的外部設置電極。

7.如權利要求1所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述加熱器緊貼在加熱內膽外側面，通過加熱器加熱內膽。

8.如權利要求1所述的高頻超導腔用超高真空熱處理爐，其特征在于：所述外殼采用耐高溫金屬材料制成。