[發(fā)明專利]一種用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑及其應用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811547579.8 | 申請日： | 2018-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN109355711A | 公開（公告）日： | 2019-02-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張占香 | 申請（專利權(quán)）人： | 張占香 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市金雞湖大道*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶硅片 線切割 制絨添加劑 反射率 制絨 添加劑 綠色環(huán)保產(chǎn)品 抗再沉淀劑 絨面均勻性 質(zhì)量百分比 表面油污 硅片表面 硅片腐蝕 環(huán)境毒害 去離子水 生產(chǎn)過程 無添加劑 有機溶劑 有效調(diào)節(jié) 精細化 內(nèi)結(jié)構(gòu) 損傷層 甜菜堿 制絨液 咪唑啉 去除 應用 | ||
1.一種用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑，其特征在于，包括如下組分及其質(zhì)量百分比：甜菜堿7.2～8.7％，有機溶劑2.1～4.5％，抗再沉淀劑0.3～1.1％，及余量的去離子水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑，其特征在于，所述的甜菜堿為烷基甜菜堿，RN+(CH3)2CH2COO-，R是碳數(shù)為12～18。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑，其特征在于，還包括0.3～0.8％咪唑啉，所述的咪唑啉為月桂酸咪唑啉。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑，其特征在于，所述的有機溶劑為N-二甲基吡咯烷酮。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑，其特征在于，所述的抗再沉淀劑為聚乙烯吡咯烷酮，其由K-15、K-30兩個型號中的任意一種或兩種混合而成。
6.一種用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑的應用，其特征在于包括以下步驟：
A)配制制絨添加劑：按照以下組分及質(zhì)量百分比配制添加劑，十二烷基二甲基甜菜堿7.2～8.7％，月桂酸咪唑啉0.3～0.8％，N-二甲基吡咯烷酮2.1～4.5％，聚乙烯吡咯烷酮0.3～1.1％，及余量的去離子水；
B)配制酸性制絨液；
C)將步驟A)制得的制絨添加劑加入步驟B)制得的酸性制絨液中；
D)將金剛線切割多晶硅片浸入步驟C)制得的制絨液中進行表面制絨；
E)將步驟D)制絨后的多晶硅片進行堿液浸泡；
F)將步驟E)制得的多晶硅片進行去離子水清洗。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑的應用，其特征在于，所述步驟B)中，所述酸性制絨液由氫氟酸、硝酸及去離子水組成，按照體積百分比：氫氟酸：硝酸：去離子水＝0.5～1:3.5～4.2:2.3～3.5，其中氫氟酸的質(zhì)量含量為49％，硝酸質(zhì)量含量為68％。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑的應用，其特征在于，所述步驟C)中，制絨添加劑與酸性制絨液的體積百分比為0.3～1.1:100。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑的應用，其特征在于，所述步驟D)中的制絨溫度為5～15℃，制絨時長為40～120s。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于金剛線切割多晶硅片的制絨添加劑的應用，其特征在于，所述步驟E)中的堿性溶液為氫氧化鉀溶液，按照體積百分比為氫氧化鉀：去離子水＝1:20，其中氫氧化鉀的質(zhì)量含量為48％。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于張占香，未經(jīng)張占香許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811547579.8/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
