[發明專利]一種提高不規則樣品的導電性能的方法有效
| 申請號： | 201811542568.0 | 申請日： | 2018-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN109632415B | 公開（公告）日： | 2021-04-13 |
| 發明（設計）人： | 萬書權;鄒敏;徐眾;王能為;霍紅英;周葳 | 申請（專利權）人： | 攀枝花學院 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 成都希盛知識產權代理有限公司 51226 | 代理人： | 張徭堯;柯海軍 |
| 地址： | 617000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 不規則 樣品 導電 性能 方法 | ||
1.一種提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于，包括如下步驟：
a、確定樣品的待觀測區域,以待觀測區域向上為初始位置；
b、將a步驟的樣品沿水平方向的翻轉軸翻轉110～130度，然后進行第一次抽真空鍍金；
c、將第一次抽真空鍍金后的樣品沿b步驟的翻轉方向翻轉110～130度，然后進行第二次抽真空鍍金；
d、將第二次抽真空鍍金后的樣品沿c步驟的翻轉方向翻轉至待觀測區域向上，然后進行第三次抽真空鍍金，得到導電的樣品；
且設置有樣品托，b步驟和c步驟翻轉后，采用導電膠布將樣品粘接在樣品托上再進行抽真空鍍金，d步驟翻轉后，將樣品通過導電底座固定在樣品托上，然后進行第三次抽真空鍍金。
2.根據權利要求1所述的提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于：b步驟和c步驟均翻轉120度。
3.根據權利要求1所述的提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于：所述導電底座為粘接在樣品托上的導電膠布，導電底座具有定位槽，步驟d中，樣品放置于定位槽中并與導電底座粘接，且樣品的待觀測區域向上。
4.根據權利要求3所述的提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于：d步驟后采用第一導電膠布縱向繞過樣品的頂部，第一導電膠布避開待觀測區域，第一導電膠布的兩端固定到樣品托，將樣品向下壓緊。
5.根據權利要求4所述的提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于：所述第一導電膠布為2～3根，且呈交叉分布。
6.根據權利要求5所述的提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于：采用第一導電膠布縱向繞過樣品的頂部，將樣品向下壓緊后，再利用第二導電膠布箍緊位于樣品底部的第一導電膠布。
7.根據權利要求1～6任一項所述的提高不規則樣品的導電性能的方法，其特征在于：抽真空鍍金采用磁控濺射法，真空度為≤6Pa，鍍層的厚度為10～20nm。
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