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[發明專利]一種利用Ga2O3薄膜催化降解有機污染物的裝置在審

專利信息
申請號: 201811538246.9 申請日: 2018-12-16
公開(公告)號: CN109529800A 公開(公告)日: 2019-03-29
發明(設計)人: 鄧金祥;張浩;楊倩倩;李瑞東;徐智洋;孫俊杰 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: B01J23/08 分類號: B01J23/08;B01J35/00;B01J37/02;A62D3/176;A62D101/20
代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 代理人: 劉萍
地址: 100124 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 石英基片 薄膜 催化降解有機污染物 卡槽 薄膜材料 沉積 重復利用 石英片 射頻磁控濺射設備 有機污染物降解 半導體材料 磁控濺射法 光催化降解 有機污染物 薄膜生長 超聲清洗 放入容器 退火處理 紫外光照 管式爐 附著
【權利要求書】:

1.一種利用Ga2O3薄膜催化降解有機污染物的方法,其特征在于:

(1)采用石英片作為Ga2O3薄膜生長的基片,對石英基片進行超聲清洗;

(2)采用射頻磁控濺射設備在石英基片上沉積一層Ga2O3薄膜材料;

(3)采用管式爐對Ga2O3薄膜材料進行退火處理;

(4)將附著Ga2O3薄膜的石英片放入容器卡槽中,在紫外光照下進行有機污染物降解。

2.一種利用Ga2O3薄膜催化降解有機污染物的裝置,其特征在于:在容器中設置卡槽,將沉積了一層Ga2O3薄膜材料的石英基片卡在卡槽中,以便重復利用Ga2O3薄膜催化降解有機污染物。

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