[發明專利]一種PECVD設備微波密封結構

有效

• 申請號: 201811524747.1
• 申請日: 2018-12-13
• 公開（公告）號: CN111321393B
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 陳特超;陳國欽;楊彬;蘇衛中;謝利華;彭宜昌;唐電
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

1.一種PECVD設備微波密封結構，包括真空腔室(1)、設于真空腔室(1)內的石英管(2)、設于真空腔室(1)側壁上的密封法蘭(3)、以及貫穿石英管(2)和密封法蘭(3)的微波天線(4)，其特征在于：所述密封法蘭(3)的內端面上設有密封凹槽(31)，密封法蘭(3)的外端面上設有延伸至所述密封凹槽(31)的水冷通道(32)，所述密封凹槽(31)內安裝有用來密封石英管(2)端部的端面密封圈(5)，所述石英管(2)端部套設有密封杯(7)，所述密封杯(7)端面與所述端面密封圈(5)抵接，所述石英管(2)與所述密封杯(7)之間設有軸向密封圈(8)，所述密封法蘭(3)的內端面設有軸向凸緣止口(33)，所述密封凹槽(31)位于所述軸向凸緣止口(33)的外周，所述密封杯(7)上設有與所述軸向凸緣止口(33)配合的軸向凹槽(71)。

2.根據權利要求1所述的PECVD設備微波密封結構，其特征在于：還包括風冷通道(6)，所述風冷通道(6)、密封法蘭(3)和石英管(2)依次連通。

3.根據權利要求1或2所述的PECVD設備微波密封結構，其特征在于：所述石英管(2)上套設有壓套(9)，所述壓套(9)位于所述密封杯(7)遠離所述端面密封圈(5)的一側，壓套(9)端部設有用于壓緊所述軸向密封圈(8)的壓緊部(91)且外周設有凸肩(92)，所述密封法蘭(3)的內端設有鎖緊螺母(10)，所述鎖緊螺母(10)內設有用于卡緊所述凸肩(92)的卡扣部(101)。

4.根據權利要求3所述的PECVD設備微波密封結構，其特征在于：所述軸向密封圈(8)設有多個，相鄰兩個軸向密封圈(8)之間設有隔套(12)。