[發(fā)明專利]一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811519640.8
• 申請日: 2018-12-12
• 公開（公告）號: CN109402598A
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嚴(yán)佐毅;劉文卿
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽金美新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 葉樹明

本發(fā)明公開了一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備，包括真空腔體，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有上收放卷機(jī)構(gòu)、上傳送機(jī)構(gòu)、下傳送機(jī)構(gòu)及下收放卷機(jī)構(gòu)；所述下收放卷機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)分別位于上收放卷機(jī)構(gòu)及上傳送機(jī)構(gòu)的下方，待鍍膜材料從上或下收放卷機(jī)構(gòu)開始依次經(jīng)過上或下傳送機(jī)構(gòu)、下或上傳送機(jī)構(gòu)后回到下或上收放卷機(jī)構(gòu)；與所述上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)處的待鍍膜材料對應(yīng)的位置處均設(shè)置有一套鍍膜裝置。本發(fā)明通過設(shè)置上下兩個收放卷機(jī)構(gòu)以及上下兩個鍍膜裝置，能夠在真空腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)連續(xù)往返鍍膜，極大地提高了工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

出于柔性導(dǎo)電和屏蔽材料的應(yīng)用需要，為了能夠?qū)鼙〉谋∧ゅ冚^厚的金屬導(dǎo)電層，需要開發(fā)一種特殊的設(shè)備機(jī)構(gòu)。所謂很薄的薄膜一般厚度為2～12μm，材料一般為PP、PE、PET、PI薄膜和聚酯纖維布、紙張等；所謂較厚的金屬層從200～2000nm不等，金屬層材料一般為導(dǎo)電和屏蔽材料，如鎳、鋁、銅、鉛、銀、金以及合金材料等。要想在薄膜表面獲得對應(yīng)厚度的金屬導(dǎo)電層，其最大的難度是沉積效率，一般情況下，受薄膜耐熱性能的影響，金屬在薄膜表面的單次沉積厚度一般為5～100nm，要想獲得200～2000nm厚度的金屬導(dǎo)電層，就需要使用多次沉積的方法實(shí)現(xiàn)。而薄膜導(dǎo)電層的沉積一般是在真空條件下進(jìn)行，如果真空設(shè)備不能往返鍍膜，則每次沉積一層金屬層之后都需要開倉，將需要沉積金屬層的薄膜卷料進(jìn)行收放卷換卷，這樣操作每次都需要抽放真空，真空設(shè)備運(yùn)行效率很低，如果能夠在真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)往返連續(xù)鍍膜，則真空鍍膜的效率將大大提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備，解決現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜設(shè)備無法往返連續(xù)鍍膜、效率較低的問題。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：

一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備，包括真空腔體，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有上收放卷機(jī)構(gòu)、上傳送機(jī)構(gòu)、下傳送機(jī)構(gòu)及下收放卷機(jī)構(gòu)；所述下收放卷機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)分別位于上收放卷機(jī)構(gòu)及上傳送機(jī)構(gòu)的下方，待鍍膜材料從上或下收放卷機(jī)構(gòu)開始依次經(jīng)過上或下傳送機(jī)構(gòu)、下或上傳送機(jī)構(gòu)后回到下或上收放卷機(jī)構(gòu)；與所述上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)處的待鍍膜材料對應(yīng)的位置處均設(shè)置有一套鍍膜裝置。

本發(fā)明的特點(diǎn)還在于：

所述上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)均包括一套皮帶輪組件，所述皮帶輪組件包括主動皮帶輪、傳動皮帶以及分別設(shè)置在所述主動皮帶輪兩側(cè)的兩個棘輪傳動件，所述主動皮帶輪與兩個棘輪傳動件通過傳動皮帶連接。

所述棘輪傳動件包括棘輪、棘爪及壓縮彈簧，所述棘爪的自由端一側(cè)與棘輪的棘齒嚙合，所述棘爪的自由端另一側(cè)與壓縮彈簧連接。

所述皮帶輪組件還包括冷卻主鼓及展平輥，所述冷卻主鼓與主動皮帶輪同軸連接；所述展平輥設(shè)置兩個，兩個展平輥分別與兩個棘輪同軸連接。

所述真空鍍膜設(shè)備還包括至少一對過輥，所述至少一對過輥設(shè)置在上傳送機(jī)構(gòu)與下傳送機(jī)構(gòu)之間。

所述真空鍍膜設(shè)備還包括等離子源清洗裝置，所述等離子源清洗裝置設(shè)置在待鍍膜材料的一側(cè)用于清洗待鍍膜材料。

所述鍍膜裝置為電阻蒸發(fā)裝置、中頻感應(yīng)坩堝蒸發(fā)裝置、磁控濺射裝置、電子槍式裝置中的一種。

本發(fā)明的有益效果是：

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備，通過設(shè)置上下兩個收放卷機(jī)構(gòu)以及上下兩個鍍膜裝置，能夠在真空腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)連續(xù)往返鍍膜，極大地提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一種雙面往返連續(xù)真空鍍膜設(shè)備中皮帶輪組件的結(jié)構(gòu)示意圖一；