[發(fā)明專利]流體裝置、流體裝置用方法和存儲介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811517831.0
• 申請日: 2018-12-12
• 公開（公告）號: CN109917825A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 赤土和也;長井健太郎;松浦和宏
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 李成必;李雪春

本發(fā)明提供流體裝置，不必對已構(gòu)筑的系統(tǒng)實施軟件變更，就可以接收現(xiàn)有的動作指令信號以外的動作指令信號。在測量或控制流體的物理量的所述流體裝置中，具備：指令信號接收部，接收預(yù)定的多種動作指令信號；以及指令信號識別部，當(dāng)所述指令信號接收部接收的作為規(guī)定的動作指令信號的值或值的時序列變化的指令信號方式在預(yù)定的規(guī)定范圍外時，將所述規(guī)定的動作指令信號識別為其他種類的動作指令信號。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及流體裝置、流體裝置用方法和存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)

作為半導(dǎo)體制造工序中使用的流體裝置，例如專利文獻(xiàn)1公開了一種裝置，利用流量傳感器測量在流道中流通的氣體的流量，通過將所述測量值與預(yù)定的校準(zhǔn)曲線數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，提高流量的測量精度。另外，所述校準(zhǔn)曲線數(shù)據(jù)根據(jù)氣體種類而不同，當(dāng)流道中流過的氣體種類改變時，自然需要重新設(shè)定與所述氣體種類匹配的校準(zhǔn)曲線數(shù)據(jù)。

對此，在所述專利文獻(xiàn)1公開的流體控制裝置中，預(yù)先假定用戶改變氣體種類，借助接口輸入校準(zhǔn)曲線數(shù)據(jù)的設(shè)定信號，重新設(shè)定校準(zhǔn)曲線數(shù)據(jù)。

另一方面，也存在希望省略上述結(jié)構(gòu)的廉價流體控制裝置的用戶，以往通過對流體控制裝置選擇性地自由追加所述結(jié)構(gòu)，滿足用戶的需要。

可是，購買流體控制裝置時沒有選擇追加所述結(jié)構(gòu)的用戶，有時購買后希望使用多個氣體種類，此時，為了操作流體控制裝置，需要對用戶構(gòu)筑的氣體控制系統(tǒng)實施用于追加所述結(jié)構(gòu)的軟件變更。而且，存在如下問題：實施所述軟件變更期間，需要停止系統(tǒng)上連接的流體控制裝置，此外，如果所述軟件變更失敗，則會對系統(tǒng)造成極大的破壞。另外，上述的問題不限于校準(zhǔn)曲線數(shù)據(jù)的設(shè)定信號，設(shè)定接收其他動作指令信號時也存在同樣問題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開公報特開平3-156509號

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的是提供流體裝置，不必對已構(gòu)筑的系統(tǒng)實施軟件變更，就可以接收現(xiàn)有的動作指令信號以外的動作指令信號。

即，本發(fā)明的流體裝置是在測量或控制流體的物理量的流體裝置中，包括：指令信號接收部，接收預(yù)定的多種動作指令信號以及作為其值或值的時序列變化的指令信號方式；以及指令信號識別部，當(dāng)所述指令信號接收部接收的規(guī)定的動作指令信號的指令信號方式為預(yù)定的規(guī)定條件外時，將包含所述指令信號方式的規(guī)定的動作指令信號識別為其他種類的動作指令信號。

按照這種構(gòu)成，在流體裝置中作為動作指令信號的指令信號方式，以正常使用的條件(規(guī)定條件內(nèi))和非正常使用的條件(規(guī)定條件外)設(shè)定不同的動作指令信號。這樣，可以將作為動作指令信號的指令信號方式非正常使用的條件，作為其他種類的動作指令信號使用，通過預(yù)先將預(yù)計用戶會使用的動作指令信號設(shè)定為所述其他種類的動作指令信號，不必對現(xiàn)有的系統(tǒng)實施軟件變更，就可以通過規(guī)定的動作指令信號輸入其他種類的動作指令信號。

另外，動作指令信號對流體裝置指示各種動作，指令信號方式顯示所述各種動作的程度和順序等。具體例如可以將動作指令信號作為用于指示所述各種動作的函數(shù)，將指令信號方式作為依賴所述函數(shù)的表示所述各種動作的程度和順序等的參數(shù)。此外，指令信號包含動作指令信號、所述動作指令信號附帶的指令信號方式。

此外，在所述流體裝置中，當(dāng)所述規(guī)定的動作指令信號的指令信號方式屬于所述規(guī)定條件外的預(yù)定的限定條件時，所述指令信號識別部識別為所述其他種類的動作指令信號，此時，所述限定條件為多個，并且所述流體裝置還包括：關(guān)聯(lián)方式數(shù)據(jù)存儲部，存儲將每個所述限定條件與不同的指令信號方式相關(guān)聯(lián)的關(guān)聯(lián)方式數(shù)據(jù)；以及指令信號方式分配部，參照所述規(guī)定的動作指令信號的指令信號方式所屬的限定條件，從所述關(guān)聯(lián)方式數(shù)據(jù)中選定與所述限定條件對應(yīng)的指令信號方式，將所述選定的指令信號方式分配給所述其他種類的動作指令信號。