[發(fā)明專利]外觀檢查裝置以及外觀檢查裝置的照明條件設(shè)定方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811509322.3 | 申請日: | 2018-12-11 |
| 公開(公告)號: | CN110186926A | 公開(公告)日: | 2019-08-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 林信吾 | 申請(專利權(quán))人: | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號: | G01N21/88 | 分類號: | G01N21/88 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 楊貝貝;臧建明 |
| 地址: | 日本京都府京都市下京區(qū)鹽小路通堀川東入*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 照明條件 外觀檢查裝置 被檢查物 缺陷檢測部 攝像部 照明光 拍攝 照射 圖像 光學(xué)知識 導(dǎo)出部 照明部 檢測 導(dǎo)出 分析 | ||
1.一種外觀檢查裝置,其特征在于,包括:
照明部,將照明光照射于被檢查物;
攝像部,對所述被檢查物進(jìn)行拍攝;
缺陷檢測部,對由所述攝像部所拍攝的所述被檢查物的圖像進(jìn)行分析,檢測所述被檢查物的缺陷;
照明條件設(shè)定部,設(shè)定照射于所述被檢查物的所述照明光的照明條件;以及
最優(yōu)照明條件導(dǎo)出部,根據(jù)利用多個不同的所述照明條件所拍攝的圖像對各照明條件進(jìn)行評分,由此導(dǎo)出最優(yōu)照明條件,所述最優(yōu)照明條件為最適于所述缺陷檢測部檢測所述被檢查物的缺陷的照明條件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置,其特征在于,包含照射于所述被檢查物的照明光的方向、強度、顏色中的至少任一要素作為定義所述照明條件的要素。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查裝置,其特征在于,所述最優(yōu)照明條件導(dǎo)出部部進(jìn)行:
第一搜索,從定義所述照明條件的各要素的所有組合中,選定多個固定了規(guī)定要素的值的第一搜索用照明條件并進(jìn)行所述評分,從其中求出得分最好的暫時最優(yōu)照明條件;以及
第二搜索,根據(jù)由所述第一搜索所得的暫時最優(yōu)照明條件,推定真正最優(yōu)照明條件可能存在的范圍,于所述范圍內(nèi)在解除了所述規(guī)定要素的值為固定的照明條件下,進(jìn)一步進(jìn)行所述評分,求出真正最優(yōu)照明條件;
由此而導(dǎo)出所述最優(yōu)照明條件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的外觀檢查裝置,其特征在于,所述第二搜索是使用二分搜索法進(jìn)行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查裝置,其特征在于,所述最優(yōu)照明條件導(dǎo)出部在所述被檢查物為兩個以上時,將由所述被檢查物各自的差異所致的每個所述被檢查物的最優(yōu)照明條件的差異平準(zhǔn)化,導(dǎo)出適于多個所述被檢查物的檢查的平準(zhǔn)最優(yōu)照明條件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查裝置,其特征在于,所述照明部包括:同軸落射照明部,以與所述攝像部的光軸相同的軸,將第一照明光照射于所述被檢查物;以及周向照明部,從以所述軸為中心的同心圓狀的周向,將第二照明光照射于所述被檢查物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查裝置,其特征在于,還包括:檢查區(qū)域確定部,確定由所述缺陷檢測部進(jìn)行缺陷檢測的所述被檢查物的區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查裝置,其特征在于,所述照明條件設(shè)定部對照由所述最優(yōu)照明條件導(dǎo)出部所導(dǎo)出的最優(yōu)照明條件,自動設(shè)定照明條件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的外觀檢查裝置,其特征在于,將具有所述照明光不均勻地反射而產(chǎn)生光澤不均的表面的物品作為所述被檢查物。
10.一種外觀檢查裝置的照明條件的設(shè)定方法,其根據(jù)通過一面將照明光照射于被檢查物一面對所述被檢查物進(jìn)行拍攝所得的圖像來檢測所述被檢查物的缺陷,其特征在于,包括:
第一步驟,從定義所述照明條件的各要素的所有組合中,選定固定了規(guī)定要素的值的多個搜索用照明條件;
第二步驟,進(jìn)行由所述第一步驟所設(shè)定的搜索用照明條件下的拍攝;
第三步驟,根據(jù)由所述第二步驟所得的圖像對所述各搜索用照明條件進(jìn)行評分;
第四步驟,進(jìn)行所述第三步驟中經(jīng)評分的各搜索用照明條件的比對,求出暫時最優(yōu)照明條件;
第五步驟,根據(jù)所述第四步驟中求出的暫時最優(yōu)照明條件,推定真正最優(yōu)照明條件可能存在的范圍,于所述范圍內(nèi)在解除了所述規(guī)定要素的值為固定的照明條件下,進(jìn)一步進(jìn)行所述評分,求出真正最優(yōu)照明條件;以及
第六步驟,將所述第五步驟中求出的真正最優(yōu)照明條件設(shè)定為外觀檢查的照明條件。
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G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
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