[發明專利]一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置

在審

• 申請號: 201811494237.4
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN109411399A
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 孟慶坡
• 申請（專利權）人: 北京盈和科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京君泊知識產權代理有限公司 11496
• 代理人: 王程遠

1.一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置，包括腳支撐(1)、第一絲杠模組(5)、第二伺服電機(6)、角度傳感器(7)、傳感器感應片(8)、第二絲杠模組(14)、CCD攝像頭(16)和壓覆檢測傳感器(17)，其特征在于：所述腳支撐(1)固定安裝于固定桿(2)的下端，且固定桿(2)的上端垂直連接于底板(3)的底部，并且底板(3)的邊側固定安裝有第一伺服電機(4)，所述第一絲杠模組(5)設置于底板(3)上的第一伺服電機(4)邊側，且第一絲杠模組(5)上連接有步進電機(9)，所述第二伺服電機(6)設置于底板(3)的上方，且底板(3)上第二伺服電機(6)的邊側安裝有第二絲杠模組(14)，并且第二伺服電機(6)與步進電機(9)的外壁相互連接，所述步進電機(9)設置于第二絲杠模組(14)上，且步進電機(9)的上方設置有角度傳感器(7)和傳感器感應片(8)，所述步進電機(9)的輸出端通過聯軸器(10)連接有吸嘴(20)，且吸嘴(20)通過吸嘴連接器(15)與氣管(11)相互連接，所述氣管(11)通過氣路接頭(18)接通有負壓表(12)，且負壓表(12)和氣管(11)的連接處安裝有真空電磁閥(13)，所述吸嘴連接器(15)的邊側安裝有CCD攝像頭(16)，且吸嘴連接器(15)和吸嘴(20)之間設置有磁性導向軸套(19)，并且磁性導向軸套(19)上安裝有壓覆檢測傳感器(17)。

2.根據權利要求1所述的一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置，其特征在于：所述第一伺服電機(4)和第一絲杠模組(5)組成水平移動安裝結構。

3.根據權利要求1所述的一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置，其特征在于：所述第二伺服電機(6)配合第二絲杠模組(14)構成豎直方向上的滑動安裝結構。

4.根據權利要求1所述的一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置，其特征在于：所述聯軸器(10)和吸嘴連接器(15)構成旋轉式移動結構設置。

5.根據權利要求1所述的一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置，其特征在于：所述磁性導向軸套(19)和吸嘴(20)及壓覆檢測傳感器(17)構成緩沖壓覆結構設置。

6.根據權利要求1所述的一種新型自控壓力晶片壓覆搭載裝置，其特征在于：所述吸嘴(20)配合氣路接頭(18)通過氣管(11)與負壓表(12)貫通連接，且負壓表(12)和真空電磁閥(13)相互連接。