[發明專利]一種基于石墨烯的可調濾波器

有效

• 申請號: 201811490894.1
• 申請日: 2018-12-07
• 公開（公告）號: CN109273805B
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發明（設計）人: 姜方泉;黃震;王定益;海學峰;張中俠;王天堃
• 申請（專利權）人: 上?？菩窬W絡科技股份有限公司
• 主分類號: H01P1/20
• 分類號: H01P1/20
• 代理公司: 合肥昕華匯聯專利代理事務所(普通合伙) 34176
• 代理人: 崔雅麗

1.一種基于石墨烯的可調濾波器,包括襯底層(1),其特征在于:所述襯底層(1)的上方設置有反射層(3)，反射層(3)的上方設置有波導層(4)，且所述反射層(3)的折射率小于波導層(4)的折射率；以使得電磁波在波導層(4)中傳播；

所述波導層(4)的上方設置有石墨烯層(5)，所述石墨烯層(5)的上方設置有第二波導層(7)，所述第二波導層(7)的上方設置有半導體層(2)；其中，石墨烯層(5)為各向同性結構或各向異性結構，所述半導體層(2)的相對于石墨烯層(5)的一端面設置有周期性分布的凹槽(6)，且石墨烯層(5)和半導體層(2)上分別施壓有電壓，并通過第二波導層(7)的隔離使得石墨烯層(5)和半導體層(2)產生一個電場。

2.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的可調濾波器，其特征在于:所述半導體層(2)為硅或砷化鎵。

3.如權利要求2所述的一種基于石墨烯的可調濾波器，其特征在于:所述半導體層(2)的厚度為2μm～100μm。

4.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的可調濾波器，其特征在于:所述反射層(3)為氟化鎂。

5.如權利要求4所述的一種基于石墨烯的可調濾波器，其特征在于:所述反射層(3)的厚度為100nm～1000nm。

6.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的可調濾波器，其特征在于:所述波導層(4)為二氧化硅。

7.如權利要求6所述的一種基于石墨烯的可調濾波器，其特征在于:所述波導層(4)為500nm～5000nm。