[發明專利]一種精密定位平臺

在審

• 申請號: 201811488910.3
• 申請日: 2018-12-06
• 公開（公告）號: CN109732502A
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 張玉龍
• 申請（專利權）人: 東莞智得電子制品有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本發明公開了一種精密定位平臺，包括：X軸模組、Y軸模組、Z軸模組、θ軸模組、平臺載面、導軌隔板；所述平臺載面設置在所述θ軸模組的頂端；所述θ軸模組設置在所述X軸模組的上端；所述X軸模組設置在所述Y軸模組的上端，所述導軌隔板設置在所述X軸模組、Y軸模組之間，所述Y軸模組設置在所述Z軸模組的側邊緣。本發明能夠實現橫向、縱向、垂直和角度的調節，各個方位參數的調節均可通過驅動電機驅動，能夠實現自動化控制電機轉動，結合計算機控制，能夠實現無人化操作和精準定位，定位精度可達微米級，角度誤差不大于1密位，與現有技術相比，無論是定位方向和角度能力，還是定位精度，還是自動化程度，均得到了極大提高。

技術領域

本發明涉及精密冶具技術領域，尤其涉及一種具有縱向、橫向、垂直和角度調節功能的精密定位平臺。

背景技術

在各種液晶面板制造、檢查設備、半導體制造、檢查設置、網印設備或印刷電路板制造、檢查設備中，必須使用對位平臺進行對位移動等程序，而為了提高精密度，除X軸、Y軸、Z軸的移動外，除更應具備θ角移動功能，方能達成高精密度的要求；但已知市售同性質產品中，號稱具有θ角回動功能，實則僅以XXY軸或XYY軸結構間接達成，顯然并不是真正的θ角回動；而其回動角度亦受到限制，例如普遍均只能達到±5°范圍內；且元件復雜，層疊組合后達到6層的厚度，不符合設備元件輕薄化的要求；市面上多數XYZ運動平臺都是手動調節，不具備自動對位功能。

因此，現有技術需要改進。

發明內容

本發明實施例所要解決的一個技術問題是：提供一種精密定位平臺，以解決現有技術中存在的功能單一、使用復雜、自動化程度較低、調節精度低的問題。

根據本發明實施例提供的一種精密定位平臺，包括：

X軸模組、Y軸模組、Z軸模組、θ軸模組、平臺載面、導軌隔板；

所述平臺載面設置在所述θ軸模組的頂端；

所述θ軸模組設置在所述X軸模組的上端，所述θ軸模組設置角度調節機構，用于調節所述平臺載面的角度；

所述X軸模組設置在所述Y軸模組的上端，使所述X軸模組與θ軸模組形成相對于所述Y軸模組的一體結構，所述X軸模組與Y軸模組分別設置橫向移動的導軌結構和縱向移動的導軌結構，所述導軌隔板設置在橫向移動的導軌結構和縱向移動的導軌結構之間，所述X軸模組上設置橫向移動的導軌結構，所述Y軸模組上設置縱向移動的導軌結構，分別用于將所述X軸模組、θ軸模組的一體結構相對于Y軸模組做橫向、縱向運動，調節所述平臺載面的橫向、縱向位置；

所述Y軸模組設置在所述Z軸模組的側邊緣，使所述X軸模組、θ軸模組、Y軸模組形成相對于所述Z軸模組的一體結構，所述Y軸模組與所述Z軸模組之間設置垂直方向移動的導軌結構，用于將所述X軸模組、θ軸模組、Y軸模組的一體結構相對于Z軸模組做垂直運動，調節所述平臺載面的垂直位置。

基于本發明上述精密定位平臺的另一個實施例中，所述X軸模組包括：

X軸臺板、X軸模組連接板、X軸模組絲桿機構、X軸模組聯軸器、X軸驅動電機、第一橫向導軌、第二橫向導軌、橫向位置感應片、橫向位置傳感器；

所述X軸臺板通過X軸模組連接板連接X軸模組絲桿機構，所述X軸模組絲桿機構設置在所述X軸臺板的側面，所述第一橫向導軌、第二橫向導軌平行設置在所述X軸臺板的下側，所述X軸模組連接板、X軸模組絲桿機構設置在所述X軸模組軸連器上，所述X軸驅動電機設置在所述X軸模組軸連器的一端，由X軸驅動電機驅動所述X軸模組軸連器的正向或反向轉動，從而驅動所述X軸臺板沿橫向運動，所述導軌隔板設置在所述第一橫向導軌、第二橫向導軌的下側，所述橫向位置感應片、橫向位置傳感器設置在所述導軌隔板的側面；