[發明專利]基于M-Z干涉結構的古斯漢森位移型SPR傳感器有效
| 申請號： | 201811481736.X | 申請日： | 2018-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN109470661B | 公開（公告）日： | 2020-10-13 |
| 發明（設計）人： | 劉振超;王怡沁;何賽靈 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01N21/552 | 分類號： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 干涉 結構 古斯漢森 位移 spr 傳感器 | ||
1.基于M-Z干涉結構的古斯漢森位移型SPR傳感器，包括激光器、偏振分光棱鏡、SPR傳感模塊、分束鏡、平面反射鏡、楔形基板、偏振片、光強探測器，其特征在于：激光光源發出的光由偏振分光棱鏡和反射鏡的組合下分為獨立的兩束TM光和TE光，通過SPR傳感模塊后，將古斯漢森位移通過M-Z干涉結構轉化為光程差量，并發生干涉，干涉光通過偏振片后由光強探測器檢測得干涉光強；
所述的M-Z干涉結構由兩個分束鏡、兩個平面反射鏡和一個楔形基板組成，光束經第一個分束鏡后分振幅為兩束光，其中一束光經過楔形基板后，經過一個平面反射鏡反射，與另一束光經另一個平面反射鏡反射后在第二個分束鏡處合為一束，并發生干涉。
2.根據權利要求1所述的基于M-Z干涉結構的古斯漢森位移型SPR傳感器，其特征在于：所述的M-Z干涉結構中分束鏡與平面反射鏡互相平行且都與光束夾角為45°。
3.根據權利要求1所述的基于M-Z干涉結構的古斯漢森位移型SPR傳感器，其特征在于：兩面反射鏡相互垂直且與和兩個偏振分光棱鏡的連線夾角為45°。
4.根據權利要求1所述的基于M-Z干涉結構的古斯漢森位移型SPR傳感器，其特征在于：在M-Z干涉結構的兩路光路中，其中一路光路中放置楔形基板將古斯漢森位移轉換為光程差，楔形基板用折射棱鏡或非平行平面反射鏡組替代，另一光路中不放置楔形基板或放置不同楔角的楔形基板或者平行平板。
5.根據權利要求1所述的基于M-Z干涉結構的古斯漢森位移型SPR傳感器，其特征在于：通過調整偏振片角度使得透過偏振片后的光只為TM光或者TE光，來實現分別對TM光和TE光干涉光強的測量。
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