[發明專利]研磨裝置用調節器

在審

• 申請號: 201811474030.0
• 申請日: 2018-12-04
• 公開（公告）號: CN111055213A
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 崔光洛;金泰賢
• 申請（專利權）人: 凱斯科技股份有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種研磨裝置用調節器，其特征在于，包括：

調節盤，其用于重整研磨墊；

加壓部，其用于向所述調節盤施加軸向的壓力；

測量部，其設置于所述加壓部與所述調節盤之間，用于測量來自所述加壓部的所述壓力；

校正部，其基于所述測量部測量的信號，校正來自所述加壓部的所述壓力。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述測量部在所述調節盤的移動和旋轉停止的停止位置上，測量來自所述加壓部的所述壓力。

3.根據權利要求2所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述校正部在所述調節盤配置于所述研磨墊的狀態下，校正來自所述加壓部的所述壓力。

4.根據權利要求1所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

包括存儲有所述調節盤的基準壓力范圍的數據庫，

所述校正部基于所述測量部測量的所述調節盤的測量壓力范圍與所述基準壓力范圍間的偏差，校正來自所述加壓部的所述壓力。

5.根據權利要求4所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述基準壓力范圍按照所述調節盤的使用年限，并基于在所述研磨墊中由所述測量部測量的所述測量壓力范圍而存儲。

6.根據權利要求4所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

包括警報發生部，當所述測量壓力范圍與所述基準壓力范圍間的偏差超出基準偏差范圍時，所述警報發生部發出警報信號。

7.根據權利要求1所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述校正部在對所述研磨墊進行調節工序之前，校正來自所述加壓部的所述壓力。

8.根據權利要求1所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

包括旋轉部，其結合于所述調節盤的上部，使所述調節盤旋轉，

所述加壓部設置于所述旋轉部的上部，所述測量部設置于所述加壓部與所述旋轉部之間，在將來自所述加壓部的所述壓力傳遞給所述旋轉部的同時測量所述壓力。

9.根據權利要求8所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述測量部借助于所述加壓部而選擇性地沿上下方向移動，從而接觸所述旋轉部或從所述旋轉部隔開。

10.根據權利要求9所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

包括第一耦合器，其結合于所述旋轉部的上部，

當所述測量部借助于所述加壓部而移動到下部時，所述測量部接觸所述第一耦合器，所述壓力經所述第一耦合器傳遞至所述旋轉部，

當所述測量部借助于所述加壓部而移動到上部時，所述測量部從所述第一耦合器隔開。

11.根據權利要求10所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述旋轉部包括：

花鍵軸，其結合于所述調節盤；

軸承構件，其以包圍所述花鍵軸外周的方式與所述花鍵軸結合，用于支撐所述第一耦合器，

被傳遞至所述第一耦合器的所述壓力，經所述軸承構件傳遞至所述花鍵軸。

12.根據權利要求11所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

所述第一耦合器沿所述軸承構件的圓周方向，連續地支撐于所述軸承構件；

被傳遞至所述第一耦合器的所述壓力，沿著所述軸承構件以呈環形態分散的狀態傳遞至所述花鍵軸。

13.根據權利要求9所述的研磨裝置用調節器，其特征在于，

包括第二耦合器，其借助于所述加壓部而選擇性地沿上下方向移動；

所述測量部固定結合于所述第二耦合器。