[發(fā)明專利]透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置

在審

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• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN109461640A
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 譚軍;邰凱平;趙洋;康斯清
• 申請（專利權）人: 中國科學院金屬研究所
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，包括：樣品桿、轉接密封帶法蘭套管、帶套管密封法蘭、X-Y-Z三維滑臺、旋轉滑臺和滑臺支架，具體結構如下：

樣品桿的尾端直徑較樣品桿的其他部分直徑大，轉接密封帶法蘭套管固定在樣品桿的尾端外側，轉接密封帶法蘭套管內壁與樣品桿間使用O型密封圈進行真空密封；轉接密封帶法蘭套管置于帶套管密封法蘭的波紋管套管內，轉接密封帶法蘭套管外壁使用O型密封圈與波紋管套管內壁實現(xiàn)真空密封；帶套管密封法蘭為密封法蘭與波紋管套管組成，二者采用焊接的方式實現(xiàn)真空密封，密封法蘭與波紋管套管的中心孔相對應；X-Y-Z三維滑臺通過滑臺支架固定在帶套管密封法蘭上，實現(xiàn)樣品的三維平動和繞桿體軸線360°旋轉；旋轉滑臺、滑臺支架的左立板、帶套管密封法蘭的波紋管套管套裝于轉接密封帶法蘭套管上，密封法蘭固定在透射、掃描或者聚焦離子束電鏡主腔體內壁。

2.按照權利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，樣品桿的尾端外側開設螺紋盲孔和溝槽，螺紋盲孔為兩個以上沿圓周方向均勻分布，溝槽沿圓周方向開設，溝槽內安裝O型密封圈。

3.按照權利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，轉接密封帶法蘭套管為法蘭與套管的組合結構，套管的外側開設定位孔和外溝槽，定位孔為兩個以上沿圓周方向均勻分布，定位孔與螺紋盲孔一一對應，螺栓穿設于定位孔和螺紋盲孔，使轉接密封帶法蘭套管與樣品桿的尾端連接；外溝槽沿圓周方向開設，外溝槽內安裝O型密封圈，波紋管套管內壁開設溝槽與外溝槽相對應；套管的中心孔為具有臺階結構的階梯孔，階梯孔中的大孔與樣品桿直徑較大的尾端配合，階梯孔中的小孔與樣品桿直徑較小的部分配合，階梯孔中的大孔壁沿圓周方向開設內溝槽，樣品桿的溝槽與內溝槽相對應，并通過接觸擠壓O型密封圈實現(xiàn)真空密封。

4.按照權利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，轉接密封帶法蘭套管的一端伸至波紋管套管內，轉接密封帶法蘭套管的套管外壁與波紋管套管通過O型密封圈進行真空密封；波紋管套管的一端與滑臺支架連接，波紋管套管的另一端通過焊接的方式與密封法蘭的一端進行組合，密封法蘭的另一端通過膠圈或金屬密封的方式與透射、掃描或者聚焦離子束電鏡的樣品艙側壁相連。

5.按照權利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，滑臺支架包括兩個相對平行設置的立板：左立板和右立板，左立板和右立板通過螺絲釘或者焊接的方式分別與密封法蘭和波紋管套管進行空間位置固定；其中，左立板上部與波紋管套管的端面連接，左立板與波紋管套管連接處的中心孔相對應且直徑相同，右立板上部與密封法蘭連接。

6.按照權利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，X-Y-Z三維滑臺通過螺絲釘固定的方式固定在滑臺支架兩個立板下部之間。

7.按照權利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉接裝置，其特征在于，旋轉滑臺套裝于轉接密封帶法蘭套管的套管上，其一端與轉接密封帶法蘭套管的法蘭靠接；旋轉滑臺的另一端與滑臺支架的一端靠接，使旋轉滑臺位于滑臺支架和轉接密封帶法蘭套管之間，通過操作旋轉滑臺，帶動轉接密封帶法蘭套管進行360°的繞軸旋轉，進而帶動樣品桿的轉動。