[發明專利]彈性波裝置、高頻前端電路以及通信裝置

有效

• 申請號: 201811449425.5
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN109842397B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 三村昌和
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

本發明提供一種能夠使產生雜散的頻率遠離其它通信系統等利用的頻帶且能夠有效地改善頻率溫度特性的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備：支承基板(2)；聲反射層(3)，設置在支承基板(2)上；壓電體層(6)，設置在聲反射層(3)上；以及IDT電極(7)，設置在壓電體層(6)上。聲反射層(3)具有三層以上的低聲阻抗層和兩層以上的高聲阻抗層。最靠近壓電體層(6)的低聲阻抗層(4a)的膜厚比最靠近該低聲阻抗層的低聲阻抗層的膜厚厚。

技術領域

本發明涉及彈性波裝置、高頻前端電路以及通信裝置。

背景技術

以往，彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。在下述的專利文獻1公開了彈性波裝置的一個例子。該彈性波裝置具有設置在支承基板與壓電體層之間的聲反射層。在聲反射層中，交替地層疊有低聲阻抗層和高聲阻抗層。專利文獻1的彈性波裝置利用S₀模式等的板波作為主模式。多個低聲阻抗層的膜厚以及多個高聲阻抗層的膜厚分別設為全部相等。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2012/086441號

在專利文獻1記載的彈性波裝置中，具有在比主模式靠高頻段側產生大的雜散的傾向。例如，在制作了通信波段為3.5GHz頻段的Band42用的器件的情況下，有時會在無線LAN使用的5GHz頻段的頻帶產生雜散而成為問題。

進而，在上述彈性波裝置中，未能充分改善頻率溫度特性。

發明內容

發明要解決的課題

本發明的目的在于，提供一種能夠使產生雜散的頻率遠離其它通信系統等利用的頻帶且能夠有效地改善頻率溫度特性的彈性波裝置、高頻前端電路以及通信裝置。

用于解決課題的技術方案

本發明涉及的彈性波裝置具備：支承基板；聲反射層，設置在所述支承基板上；壓電體層，設置在所述聲反射層上；以及IDT電極，設置在所述壓電體層上，所述聲反射層具有三層以上的低聲阻抗層和兩層以上的高聲阻抗層，最靠近所述壓電體層的所述低聲阻抗層的膜厚比最靠近該低聲阻抗層的低聲阻抗層的膜厚厚。

在本發明涉及的彈性波裝置的某個特定的方面中，至少在三層所述低聲阻抗層和兩層所述高聲阻抗層中，所述低聲阻抗層和所述高聲阻抗層交替地層疊。在該情況下，能夠更進一步提高聲反射層中的反射率，因此能夠更進一步改善損耗。

在本發明涉及的彈性波裝置的某個特定的方面中，最靠近所述壓電體層的所述低聲阻抗層的膜厚為最靠近該低聲阻抗層的所述低聲阻抗層的膜厚的1.38倍以下。在該情況下，能夠使產生雜散的頻率更加遠離其它通信系統等利用的頻帶。因而，能夠更進一步抑制雜散對其它通信系統等的影響。

在本發明涉及的彈性波裝置的另一個特定的方面中，最靠近所述壓電體層的所述低聲阻抗層的膜厚為在該低聲阻抗層中傳播的橫波彈性波的波長的所述壓電體層的厚度方向上的分量的0.7倍以上且0.8倍以下的范圍。在該情況下，能夠在不導致聲反射層的反射特性的劣化的情況下更進一步改善頻率溫度特性。

在本發明涉及的彈性波裝置的又一個特定的方面中，除最靠近所述壓電體層的所述低聲阻抗層以外的各所述低聲阻抗層的膜厚為在各所述低聲阻抗層中傳播的橫波彈性波的波長的所述壓電體層的厚度方向上的分量的0.2倍以上且0.3倍以下的范圍，所述高聲阻抗層的膜厚為在所述高聲阻抗層中傳播的橫波彈性波的波長的所述壓電體層的厚度方向上的分量的0.2倍以上且0.3倍以下的范圍。在該情況下，能夠將彈性波有效地封閉在壓電體層側。

在本發明涉及的彈性波裝置的另一個特定的方面中，利用S₀模式的板波。